温湿度对SnO2基CO气体传感器敏感特性的影响.pdfVIP

第24卷 第6期 传 感 技 术 学 报 V01．24 No．6 2011年 6月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS June2011 TheEffectoftheTemperatureandHumidityontheSensitivityofSn02-BasedCOGasSensors XUE Yanbing ，TANG Zhenan ，1．SchoolofElectricalandInformation，DalianJiaoTongUniversity，DalianLiaoning116028，China； 、 ＼2．SchoolofElectronicScienceandTechnology，DalianUniversityofTechnology，DalianLiaoning116024，China／ Abstract：PureSnO2nano—powderandPd—dopedpowderswithdopingconcentrationof0．2oto1％ ，2 oto1％ and 10 mo1％ weresynthesizedviasol—gelmethod，whichpowderswereusedassensitivematerialsfortheCO gassensors preparedontheceramichotplate．Thesensitivityofthesensorsonthedifferenttemperatureandhumidityconditions wastestedontheself-madetestingplatform．Theeffectofdopingconcentrationonthehumiditystabilityofthesen— sorswasstudiedand themechanism ofthesensitivityon humiditywasdiscussed．Theresultsshow thatthe0．2 oto1％ Pd—dopingsensordecreasesthediscreteofsensitivityondifferenthumidityconditionsfrom 20．5％ oftheUn— dopedsensorto8．63％ ，whichincreasesthehumiditystabilityofthesensoreffectively．10oto1％ Pd—dopingsensor displaysdifferentresponseto20xlO～ CO onabove50％ relativehumidityconditionsandtheconductanceofsens． ingfilm deceasesonthepresenceofreducedgaSofCO． Keywords：CO gassensors；ambienttemperatm’eandhumidity；gassensingcharacteristics；PddopedSnO2；doping concentration EEACC：7230J doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2011．06．003 温湿度对 SnO2基 CO气体传感器敏感特性的影响 薛严冰 ，唐祯安 1大连交通大学 电气信息学院，辽宁大连 116028； ＼ ＼2．大连理工大学 电子科学与技术学院，辽宁大连 l16024』 摘 要 ：采用溶胶一凝胶法制备了纳米SnO，粉体及 掺杂浓度比分别为0．2mo1％、2mo1％、10mo1％的三种掺杂粉体。以制 得的粉体作为敏感材料，制成陶瓷微热板式 CO气体传感器。在 自行搭建的气体测试平台上，测试了各传感器在不同环境温湿 度条件下对CO的响应，研究了Pd掺杂浓度对传感器湿度稳定性的影响，探讨了湿度影响传感器灵敏度的机理。实验结果表 明：0．2mo1％Pd掺杂器件在不同湿度条件下灵敏度离散度由掺杂前的20．5％降低至8．63％