Nd：GGG激光晶体的缺陷研究.pdfVIP

维普资讯 第 22卷 第4期 量 子 电 子 学 报 V_01．22NO．4 2005年 8月 CHINESEJOURNALOFQUANTUM ELECTRONICS Aug．2005 文章编号： 1007—5461(2005)04—0574—05 Nd：GGG激光晶体的缺陷研究 张庆礼 ，孙敦陆 ，殷绍唐 张 霞 ，邵淑芳 ，谷长江 (1 中国科学院安徽光学精密机械研究所， 安徽 合肥 230031 2 曲阜师范大学激光所， 山东 曲阜 273165) 摘 要 ：Nd：GGG 晶体是热容固体激光器的一种重要的工作介质。采用提拉法沿 (111)方向生长出直径为 60mm 的Nd：GGG 单晶，利用应力仪、偏光显微镜和环境扫描 电子显微镜及化学腐蚀等仪器和手段，对晶体 的宏观和微观缺陷进行了观察和分析，可为改善生长工艺、生长大尺寸优质 Nd：GGG 晶体提供指导。 关键 词 ： 材料；缺陷；应力双折射； Nd：GGG晶体；热容固体激光器；位错 中 图分 类 号 ：O734．3 文 献 标 识 码 ：A 1 引 言 近年来，由于大功率激光二极管泵浦技术及其支撑技术的快速发展和重大突破，固体强激光器又重新 受到特别关注，热容固体激光器 (Solidstateheatcapacitylaser，SSHCL)是具有广阔应用前景的新一代激 光器，热容激光晶体是它的核心关键材料，Nd：GGG 晶体具有机械强度、热导率和激光效率高及热容量 大、密度大等许多优点，适合于半导体激光泵浦，可实现连续和脉冲激光运转，是 目前热容激光器首选的 工作介质 [1’引。高功率激光器需要大尺寸高质量的晶体 ，研究 Nd：GGG 晶体的宏观和微观缺陷及它们成 因，可为 Nd：GGG 晶体晶体生长工艺的改进提供方向和指导 ，以提高晶体质量 2 样品制备 样品 1：选取质量较差的Nd：GGG 晶体棒，从等径部分垂直生长方向 ((111)方 向)切取晶片，对晶片 两表面进行定向、粗磨、细磨和抛光，制成 ~50mm×5mm 的晶片。 样品2：在 Nd：GGG 晶体棒的等径部分平行生长方 向切取晶片， (111)面和 (110)面定向，各表面进 行粗磨、细磨和抛光，制成 5mm×15mm×20mm 的晶片。 样品3：在 Nd：GGG 晶体棒的肩部垂直生长方 向切取晶片，对晶片两表面进行定向、粗磨、细磨和抛 光，制成 15mill×1mm 的晶片，上表面蒸镀碳膜。 样品4：将样品2用 H3PO4在 180℃温度下腐蚀 60分钟，用蒸馏水冲洗，凉干，得到测试样品。 3 实验方法 1、用 LYY一85数显应力仪和 XPB一01型偏光显微镜观察样品 1和样品2中的应力双折射像，并测量 应力双折射大小。 基金项 目 ：国家 自然科学基金 (No 收稿 日期 ：2005—05—08； 修改 日期 ：2005—05—12 E-m aih zhbwang~aiofm ．ac．cn 维普资讯 第 4期 王召兵等： Nd：GGG 激光晶体的缺陷研究 575 2、用显微镜观察样品3中的包裹物，并用 XT30ESEM—TX．tP环境扫描电镜进行 ESEX．1分析。 3、用INCA300x射线电子能谱仪对样品3中的包裹物及完整区进行XPS分析，测定不同区域各元 素百分含量。 4、用显微镜观察样品4的 (111)面和 (ii0)面上的位错形貌及分布。 4 结果和讨论 4．1晶体的应力双折射 采用全波片方法，在应力仪上对佯品 l进行观察，应力双折射像如图 l(a)所示，可以看到整个晶片 截面上都有应力存在，并有一大的三角形核心，与生长的晶体棒尾部端面形状相似，三角形的