金刚石对顶砧中触点位置误差对样品电阻率测量精度的影响鄢.pdfVIP

物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援员圆 渊圆园员员冤摇 员圆苑圆园猿 金刚石对顶砧中触点位置误差对样品 电阻率测量精度的影响鄢 员冤圆冤 圆冤 圆冤 员冤 员冤 圆冤覮 吴宝嘉 摇 韩永昊 摇 彭摇 刚 摇 金逢锡 摇 顾广瑞 摇 高春晓 员冤渊延边大学理学院袁延吉摇 员猿猿园园圆冤 圆冤渊吉林大学超硬材料国家重点实验室袁长春摇 员猿园园员圆冤 渊圆园员员年圆月圆猿 日收到曰圆园员员年远月圆员 日收到修改稿冤 摇 摇 利用有限元分析方法袁研究了金刚石对顶砧中电极与样品接触点位置变化对范德堡法测量样品电阻率精度的 影响援结果表明院当电极中心与样品边缘的间距遭臆凿辕怨渊凿为样品直径冤时能得到精确的电阻率测量结果曰当电极位 置远离样品边缘而逐渐接近样品中心时袁其位置变化对电阻率测量精度的影响迅速增大曰相同的电极位置变化对 具有较大电阻率的半导体样品电阻率测量精度的影响更明显援 关键词院电阻率袁有限元方法袁金刚石对顶砧 孕粤悦杂院苑圆援愿园援原则袁园圆援苑园援阅澡袁园苑援猿缘援垣噪 测量误差进行了相关讨论援可是袁有关测量电极与 员郾 引 言 样品的接触点位置变化对样品电阻率测量精度所 造成影响的研究工作袁作者至今尚未见报道援 因此袁 范德堡法被广泛用来测定任意形状的薄片材 本文利用云耘粤方法分析了阅粤悦 中测量电极与样品 料样品的电学性质袁最早是由郧则扎赠遭燥憎泽澡蚤和砸怎燥枣枣咱员暂 触点位置变化对范德堡法测量样品电阻率精度的 咱圆袁猿暂 引入到高压研究领域并逐渐获得发展 援而薄膜 影响援 微电路技术的广泛应用进一步拓展了高压实验技 咱猿要苑暂 术的发展空间并逐渐与理想的实验条件接近 援 圆郾 实验与计算 通常情况下袁在金刚石对顶砧渊阅粤悦冤装置的高压腔 体中电极与样品的尺寸都很小渊直径一般为微米 为了更好研究阅粤悦 中电极与样品触点位置变 级冤袁而测量电极与样品的接触点位置可能随测试 化对测量精度的影响袁我们建立了一个有限元模 样品的持续被压缩而发生改变袁因此触点位置的变 型袁如图员所示袁其中图员渊葬冤为有限元模型袁图中葬 化对测量精度必然会产生影响援 于是袁利用传统的 为电极边长袁遭为电极中心到样品边缘的距离袁图员 边界条件与修正关系会导致样品电阻率产生误差袁 渊遭冤为网格化后的有限元模型袁图员渊糟冤为电极附近 不利于准确分析样品在高压下的物性袁甚至可能会 的网格放大图援通常情况下袁网格越小说明精度越 产生错误的分析结果援近几年袁郧葬燥研究小组咱苑要员圆暂对 高袁当采用比某一网格更小的划分而不能使电极悦 阅粤悦 中的电学测量技术进行了针对性研究袁同时利 与电极阅间的电势结果更精确时袁我们认为当前的 用有限元分析渊云耘粤冤方法针对高压 阅粤悦 中电阻率 网格划分是合适的援在模拟分析中袁所设定的探针 测量实验中样品与电极的变化因素进行理论模拟 位置及模型参数与我们实验中各参数是相同 咱员猿要员缘暂 咱愿袁员缘暂 计算袁并获得了实验上很难观测到的数据 袁 的 袁固定样品的电阻率而改变样品厚度袁通过样 运燥燥灶咱员远暂则针对测量电极不在