物理气相沉积制备锂离子电池正极薄膜研究进展3.pdfVIP

2·96 · 材料导报 　　 　　2006 年 11 月第 20 卷专辑 Ⅶ 物理气相沉积制备锂离子电池正极薄膜研究进展 1 2 1 3 李黎明 , 胡社军 , 赵灵智 , 李伟善 ( 1 　广东工业大学材料与能源学院 , 广州 5 10006 ;2 　华南师范大学物理与电信工程学院 , 广州 51063 1 ; 3 　华南师范大学化学与环境学院 , 广州 5 1063 1) 　　摘要 　　薄膜锂离子电池是锂离子电池发展的最新领域 ,正极材料的薄膜化是薄膜锂离子电池的重要部分 。综 述了近年来国内外物理气相沉积在薄膜锂离子电池正极薄膜方面的研究新进展 ,着重介绍了射频磁控溅射 、脉冲激光 沉积 、电子束沉积等制备技术的工作原理 、特点及发展 ,并对这些制备技术在锂离子电池正极薄膜制备中的应用进行 了分析 、比较和评价 。 关键词　　锂离子电池 　物理气相沉积 　正极薄膜 Progress in Preparation of Thin Fil m Electrodes f or L ithium Ion Batteries by Physical Vapor Deposition L I Liming1 , HU Shej un2 , Z HA O Lingzhi1 , L I Wei shan3 ( 1 　School of Mat erial s and Ener gy Sources , Guangdong U niver sit y of Technology , Guangzhou 510006 ; 2 　School of Phy sics and Telecommunication Engineering , Sout h China Normal U niver sit y , Guangzhou 51063 1 ; 3 　School of Chemi st ry and Environment , Sout h China Normal U niver sit y , Guangzhou 5 1063 1) Abstract 　　Wit h t he innovation in micro devices over t he la st decade , t here i s a seriou s demand for t hin film batt eries 。Therefore po sitive film i s an import ant component of t hin film lit hium ion batt eries 。The new research p ro gress for p hysical vapor depo sition in po sitive film mat erial in recent year s i s summarized . The charact eri stics and rela tive merit s of t hese p rep aration met hods , such a s RF magnet ron sp utt ering ,p ul sed laser depo sition ,and elect ron beam vapor depo sition are analyzed and st ressed , and t he application s o