CO激光陶瓷基板划片机光路设计及分析.pdfVIP

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2017-09-13 发布于重庆
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第 28 卷　第 2 期激　　光　　技　　术 Vol . 28 ,No . 2 2004 年 4 月 LASER TECHNOLOGY April ,2004 ( ) 　　文章编号 : 2004 射频 CO2 激光陶瓷基板划片机光路设计及分析 1 2 1 1 侯廉平 ,陈培峰 ,王　圩 ,朱洪亮 ( 1. 中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心 ,北京 100083 ; 2 . 华中科技大学激光技术与工程研究院 ,武汉 430074) 摘要 : 介绍了 RF CO2 激光陶瓷基板划片的特点。分析了导光系统的设计原则 ,讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点。对导光系统进行了优化和模拟 ,给出了导光系统的光路图及成像质量图。试验结果和理论相符。利用该陶瓷划片机加工的氧化铝陶瓷基片可与国外同类划片机相媲美。关键词 : 陶瓷基板 ;划片机 ;光路 ;设计中图分类号 : TN248. 2 + 2 　　　文献标识码 : A The design of bea m delivery system of RF CO2 laser cera mic substrate scriber 1 2 1 1 HOU L ianp ing , CHEN Peif eng , WAN G Wei , ZHU Hongliang (1. National Research Center of Optoelectric Technology , Institute of Semiconductors ,the Chinese Academy of Sciences ,Beijing 100083 ,China ; 2 . Institute of Laser Technology Engineering ,HUST ,Wuhan 430074 ,China) Abstract : The characteristic of RF CO laser ceramic substrate scribing has been presented. The design principle of beam 2 delivery system is analyzed. Function and characteristic of circular polarizer and Galileo defocusing telescopic system are particularly discussed. The beam delivery system is optimized and simulated and its optical path and imaging quality diagrams are plotted. The experimental outcome conforms to theory. Processing quality to alumina ceramic substrate by our scriber is up to tha