高精度干涉仪镜头支撑结构的光机集成分析.pdfVIP

第38卷第 10期 光电工程 V_01．38．No．10 2011年 10月 Opto—ElectronicEngineering oct．20l1 文章编号：1003—501X(2011)10—0146—05 高精度干涉仪镜头支撑结构的光机集成分析 张 娟，吴永前，伍 凡，吴高峰 (中国科学院光 电技术研究所，成都 610209) 摘要：根据高精度干涉仪镜头的工作状况，给出了平放时镜头的装卡方式。用AnsysWorkbench有限元分析软件 对镜头由重力、支撑结构所导致的面形变化进行仿真分析 ，在对光机结构进行有限元分析的基础上，反复优化镜 头机械结构设计，从而使支撑结构引起的系统误差降到最低，以 Zemike多项式为接 口工具拟合镜面变形，评估 了该支撑结构对镜头光学性能的影响。分析结果表明，在该支撑方式下，干涉仪镜头引入的波像差的均方根值 RMS1／502，满足像质要求。 关键词：干涉仪；变形；Zernike多项式；有限元分析 中图分类号：TP211．6 文献标志码：A do：10．3969／j．issn．1003—501X．2011．10．024 IntegratedOpto-mechanicalAnalysisfortheLens0f High-precisiOnInterferometerSupportStructure ZHANG Juan，W U Yong-qian，W U Fan，W U Gao-feng (InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China) Abstract：A horizontalplacingmethodforthelensofhigh—precisioninterferometerisgivenaccordingtoitsoperating mode．UsingAnsysWorkbenchfiniteelementsoftware，simulationandanalysisarecarriedouton thedeformation of mirrorsurfacewhichiscausedbygravityandthesupportstructure．BasedontheFiniteElementAnalysis(FEA)ofropto— mechanicalstructure，optimizethemechanicaldesign ofthelensrepeatedly,SOthatthesystematicerrorscaused by supportstructuregettominimization．FitdeformedmirrorsurfacewithZemikepolynomialasan interfacetool，and evaluatetheeffectofsupportsturctureonopticalperfomr ance．Theanalysisresultsshow thattheRM Sofaberrationofthe interferometerlensislessthan1／50~whichcanbefulfilledwiht theimagequalitydemandunderthesupportmethod． Keywords：interferometer；deformation；Zem ikepolynomial；FEA 0 引 言 近几年来，随着国内大型光学项 目的开展，对光学元件的面型精度提出了更高的要求，这也相应的对 检测精度的提高提出了要求 。特别是极紫9b(EUW)光刻技术的发展，对光学表面提出了达到均方根(RMS) 值为 0．1nm的面形要求，随之而来的是，检测设备的精度要求需要高于 0．1nmj【J。光学仪器的特殊要求和 特定任务，决定了光学仪