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物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援猿 渊圆园员员冤摇 园猿愿缘园猿 前沿领域综述 负电子亲和势郧葬晕光电阴极的研究进展鄢 员冤圆冤 员冤覮 员冤 员冤 员冤 付小倩 摇 常本康 摇 李摇 飙 摇 王晓晖 摇 乔建良 员冤渊南京理工大学电子工程与光电技术学院袁南京摇 圆员园园怨源冤 圆冤渊济南大学信息科学与工程学院袁济南摇 圆缘园园圆圆冤 渊圆园员园年缘月圆圆 日收到曰圆园员园年苑月怨 日收到修改稿冤 摇 摇 郧葬晕材料由于其优良的性能袁成为紫外探测和真空电子源领域极具发展潜力的材料之一曰目前制备的反射式 郧葬晕光电阴极的量子效率已达到苑园豫以上袁透射式也达到了猿园豫援本文对 郧葬晕光电阴极的结构设计尧表面清洗和 悦泽辕韵激活三大方面进行了综述袁分析了影响量子效率的关键因素袁并对今后可能的发展方向进行了展望援 关键词院郧葬晕光电阴极袁负电子亲和势袁量子效率袁进展 孕粤悦杂院愿缘援远园援匀葬袁远员援苑圆援怎躁袁远员援苑圆援哉原袁愿员援远缘援原遭 过程中有着重要的地位袁因为郧葬晕光电阴极的许多 员郾 引 言 电学和光学性质很大程度上取决于阴极本身的结 构援而不断优化阴极的结构设计也成为目前该领域 郧葬晕作为第三代半导体的典型代表袁具有宽带 的研究重点之一援郧葬晕 阴极的结构设计包括衬底的 隙尧高饱和漂移速度尧高量子效率和低噪声等突出 选择尧缓冲层的设计尧掺杂设计以及发射层厚度的 优点袁是大功率尧高温尧高频尧抗辐照应用场合下极 设计援 为理想的半导体材料援郧葬晕 材料的禁带宽度为猿郾源 圆郾员郾 衬底材料的选择 藻灾袁截止波长在猿远缘灶皂左右袁具有良好的野日盲冶特 性袁在紫外探测和真空电子源领域中有重要的应用 摇 摇 生长出高质量的 郧葬晕外延层是制备 郧葬晕光电 价值袁受到了国内外研究机构的广泛重视援 阴极的第一步援然而郧葬晕材料一直没有晶格常数匹 经过近几年的发展袁郧葬晕光电阴极的量子效率 配的合适衬底袁在很大程度上制约了郧葬晕外延层的 有了明显的提高袁其中反射式已经获得了高达苑园豫 生长质量援在选择衬底材料时袁除了考虑要与郧葬晕 以上的量子效率袁透射式也达到了猿园豫咱员要怨暂援而一 具有较小的晶格失配度和相近的热膨胀系数外袁价 直困扰郧葬晕外延质量的匹配衬底问题也有了进一 格和尺寸也是衡量衬底材料的因素之一援表 员咱员园袁员员暂 步的发展袁通过在掺杂中引入变掺杂尧共掺杂和调 列出了可以用作 郧葬晕外延层的衬底材料及其性能 制掺杂袁对阴极量子效率的提高产生了重要影响援 参数援 本文根据郧葬晕光电阴极的国内外发展情况袁从结构 就性能来说袁郧葬晕是最理想的衬底材料袁但郧葬晕 设计尧表面清洗和激活工艺三大方面做系统评述袁 所能获得的单晶尺寸太小袁而且直接在郧葬晕衬底上 并在此基础上探讨新的研究方向援 生长郧葬晕外延层需要较高的工艺做保障袁因此袁目 前郧葬晕光电阴极结构一般采用蓝宝石尧杂蚤悦或杂蚤为 圆郾 结构设计 衬底袁和 郧葬晕 材料性能相匹配的 郧葬晕袁粤造晕 和在灶韵 为缓冲层的结