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外形尺寸 系统规格
■ 型号 BF-3Di
水平解析度 18 μm
高度分辨能力 0 - 2.5 mm: 20 μm
2.5 - 20 mm: 200 μm
检查基板尺寸范围 50 x 60 - 460 x 510 mm
以 独 特 的 光 学 设 计 实 现 了 全 部 件 3 维 检 查 。 基板厚度范围 0.6 - 3.2 mm
基板平整度 +/- 2 mm
m 基板上下净高 基板上方 : 40 mm, 基板下方 : 40 mm
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