大型精密转台高精度角度微驱动装置的研制.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ ５ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．５ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ ５ Ｍａ ２０１０ 　 　 　 ｙ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１００５１１１２０７ 　 大型精密转台高精度角度微驱动装置的研制 ， １２ １ １ １ 田学光 ，田兴志 ，刘 轩 ，刘 伟 　 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 研究生院，北京１０００３９） 摘要：针对用于标定和检测的大型精密转台（要求其定位误差 ），研制了高精度角度微驱动装置。介绍了转台的 ≤±０．５″ 总体结构，给出了角度微驱动装置的驱动原理和构成。该角度微驱动装置主要通过一个角位移转换机构把精密直线位 移转化为精密角位移来实现高的角度分辨率，其在驱动转台旋转的过程中几乎不给转台带来轴向力和径向力，因此不影 响转台的轴系精度。为了满足定位要求，转台设计采用了粗精结合、二次定位的方法，即先采用力矩电机进行粗定位，然 后使用角度微驱动装置来实现精定位。最后，从理论上计算了角度微驱动装置的分辨率并进行了测试和应用验证，证明 此角度微驱动装置的分辨率优于０．０８″，满足转台定位精度要求。 关 键 词：大型精密转台；角度微驱动装置；角位移转换机构 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＨ７０３ＴＰ２７３ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ１１１２ 　　 　　 犇犲狏犲犾狅犿犲狀狋狅犳犪狀狌犾犪狉犿犻犮狉狅犱狉犻狏犻狀 犱犲狏犻犮犲犳狅狉 狆 犵 犵 犾犪狉犲狊犮犪犾犲犪狀犱犺犻犺犪犮犮狌狉犪狋犲狋狌狉狀狋犪犫犾犲 犵 犵 ， １２ １ １ １ ， ， ，