表面等离子体调制单模面发射激光器的研究3.pdfVIP

第 58 卷 第 10 期 2009 年 10 月 物 　理 　学 　报 Vol . 58 ,No . 10 ,October ,2009 10003290200958 ( 10) 727804 ACTA PHYSICA SINICA 2009 Chin . Phys. Soc . 表面等离子体调制单模面发射激光器的研究 宋国峰 　张 　宇 　郭宝山　汪卫敏 ( 中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室 ,北京 　100083) (2008 年 12 月 30 日收到 ;2009 年 2 月 19 日收到修改稿) 　　对单模面发射半导体激光器的研究随着其应用的不断扩展而引起了人们的广泛的重视 ,应用多种方法可以提 高其输出功率并改善其模式抑制比. 利用金属表面等离子体纳米结构调制的方法可以获得单模面发射激光器输出 功率的提高 ,理论计算表明这种方法增强效应可达近 50 %. 关键词 : 表面等离子体 , 单模面发射激光器 , 模式选择 PACC : 7865 得到的都是夹杂有高阶模式的变形的基模 ,高阶模 1 引 言 式的散射损耗难以避免. 为了进一步改进 VCSEL 的性能 ,人们采用的方 ( ) [3 ] 垂直腔面发射激光器 VCSEL 以其单色性好 、 法包括光子晶体结构 、通过对上分布布拉格反射 发散角小 、单纵模激射 、低阈值电流 、高调制带宽、易 ( ) 镜 DBR 结构中进行质子注入限制注入 电流的半 与光纤耦合 、易于高密度集成 、能够进行“在片”检测 [4 ] 径 、表面刻蚀金属等离子体结构 等. 这些方法有效 和低成本等优势 ,广泛应用于激光打印、密度光存储 地提高了输出功率并进一步改进了光束质量. 其中 和读出、短程光通讯 、自由空间光互连以及单模光纤 ( ) 利用表面等离子体激元 SPPs 的增强和调制效应提 中数据高速传输等各领域. VCSEL 的微型腔结构的 高半导体光器件性能的方法近几年成为研究亮点. 应用 ,在纵模上改进了激光光源的单色性 ,从而在一 尤其是表面激元能够对光进行调制 、选择透过的特 定程度上抑制光在光纤传输中的材料色散和波导色 点 ,成为科研者感兴趣的研究领域. 本文模拟设计应 散 ,但对模式色散依旧无能为力. 使用单模光纤与激 用表面激元物理效应调制增强 的办法 , 通过对 光器耦合可以作为一种解决办法 ,但在低成本的局 VCSEL 发光端面出光的调制和高阶模的衰减 ,获得 ( ) 域网或者家庭接入网等中小型网络 850 nm 光源 高功率密度的单模垂直腔面发射激光光源. 中 , 由于性价比的原因不宜大量使用. 因此在实际应 用中 ,为了使激光器能更好地与光纤耦合 , 多要求 2 单孔结构获得单模输出的模拟 VCSEL 具有稳定的基横模工作特性 ,特别是高输出 功率的基横