紫外平面刻划光栅杂散光数值分析及测试.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ ８ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．８ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ ８ Ａｕ．２００９ 　 　 　 ｇ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０８１７８３０７ 　 紫外平面刻划光栅杂散光数值分析及测试 ， ， ， ， １ １２ １２ １２ １２ １ 巴音贺希格 ，李 燕 ，吴 娜 ，于海利 ，张善文 ，齐向东 　 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 研究生院，北京 １０００４９） 摘要：杂散光是光栅的重要技术指标，它直接影响光栅的信噪比，紫外波段的杂散光对光谱分析尤为不利。为了考察平 面刻划光栅用于光谱仪器时产生的杂散光，采用标量衍射理论数值分析了杂散光产生的原因。数值模拟结果表明，紫外 平面刻划光栅刻槽周期随机误差以及刻槽深度随机误差是杂散光的主要来源，而光栅杂散光对光栅表面小尺度随机粗 糙度并不敏感。提出了平面光栅光谱仪出射狭缝相对宽度的概念，数值分析了仪器出射狭缝高度及出射狭缝相对宽度 与杂散光强度的关系，从而分别为在光栅制作工艺中从根源上降低光栅杂散光以及在光栅应用过程中从使用方法上降 低光栅杂散光提供了理论依据。最后，为了与采用滤光片法测得的光栅杂散光实验值进行比较，给出了理论求解杂散光 总强度的求和公式，并对 个不同波长的杂散光进行了多次测量。结果表明，当刻槽周期随机误差、刻槽深度随机误差 ４ 和表面随机粗糙度分别取 、 和 时，理论值和实验值的相对误差可控制在 左右。 ０．８ｎｍ ０．５ｎｍ １．２ｎｍ １３％ 关 键 词：衍射光栅；杂散光；数值分析 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： Ｏ４３６．１ ＴＨ７４４．１ Ａ 　　 犖狌犿犲狉犻犮犪犾犪狀犪犾狊犻狊犪狀犱犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋 狔 狅犳狊狋狉犪 犾犻犺狋犳狉狅犿犝犞狉狌犾犲犱 狉犪狋犻狀狊 狔 犵 犵 犵 ， ， ， １ １２ １２ １２