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第 19 卷 第 5 期 传 感 技 术 学 报 Vol . 19 N o . 5
2006 年 10 月 CHIN ES E J OU RNAL O F S EN SORS AND AC TUA TORS Oct . 2006
The Influence of Stress on Mechanical Performance of Highly Doped SquareShaped Silicon Diaphragm
S ON G Yich ao , X U Chen , Z H A O L i nl i n , L I B o , S H E N Guangd i
B eij i ng Op toelect ronic Technol ogy L aboratory , Col leg e of Elect ronic I nf orm at ion Cont rol Eng i neeri ng ,
B eij i ng Uni vers i ty of technology , B eij i ng 100022 , Chi na
Abstract :We p re sent an analytical solution for t he tot al st re ss an d mechanical sen sitivit y of highly boron
dop ed Si diap hragm wit h small deflection con siderin g effect to re sult f ro m t he re sidual st re ss. It i s fo und
t hat t he tot al st re ss and mechanical sen sitivit y of t he diap hragm wit h small deflection are decided by t he re
sidual st re ss in ca se of highly dop ed Si diap hragm . Esp ecially , t he mechanical sen sitivit y of t he Si dia
p hragm can be t hree or der s lower t han t hat of t he diap hragm wit hout re sidual st re ss.
Key words :M EM S ;diap hragm ;tot al st re ss ;mechanical sen sitivit y ;re sidual st re ss
EEACC :7320 G
应力对硅悬空薄膜的机械灵敏度的影响
宋义超 ,徐 晨 ,赵林林 ,李 博 ,沈光地
(北京工业大学电子信息与控制工程学院 ,北京市光电子技术实验室 ,北京 100022)
摘 要 :运用四周固支薄板小挠度理论 ,分析了存在较大残余应力的浓硼重掺杂硅悬空薄膜的力学特性. 给出了小挠度下 ,
在外界载荷作用下总应力表达式和薄膜机械灵敏度表达式 ,并分析了残余应力对二者的影响. 研究表明 ,对存在较大残余应
力的硅薄膜 ,总应力和机械灵敏度主要由残余应力决定 ,其中机械灵敏度较忽略残余应力时的值减小三个数量级.
关键词 :微电子机械系统 ;薄膜 ;总应力 ;机械灵敏度 ;残余应力
中图分类号 :0710C;4630 N 文献标识码 :A 文章编号 2006)
M EM S 器件中各种可动微小构件 ,如悬臂梁 , 性湿法腐蚀停止技术制备. 图 1 所示为制备好的带
薄膜 ,微
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