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几种新型超硬薄膜的研究进展3 张生俊 陈光华 邓金祥 宋雪梅 邵乐喜 北京工业大学材料学院 教育部新型功能材料重点实验室 北京 湛江师范学院物理系 湛江 摘 要 超硬材料主要由 族共价键化合物 碳化物 氮化物 和单质 金刚石 组成 硬度高于 有单 ∏ ! ° 晶 多晶 非晶等多种 除金刚石外 这些材料都是人工合成的 没有天然对应物 除超硬性质以外 这些材料大都具有 ! ! 宽带隙 高温稳定性 化学惰性等优良的物理化学性质 新型超硬薄膜材料研究从金刚石开始 目前主要的研究对象 ! ! 有金刚石 类金刚石碳 立方氮化硼 氮化碳 硼碳氮 等 是近二十年来材料研究的热门 ! ⁄≤ ! ! ≤ ≤! ≤ ξ 方向之一 文章结合作者近年来的工作 介绍这几种超硬薄膜的研究进展和展望 关键词 超硬材料 金刚石 立方氮化硼 氮化碳 类金刚石碳 ΝΟςΕΛΣΥΠΕΡΗΑΡΔΦΙΛΜΣ ≥2∏ ≤∞∏2∏ ⁄∞2÷ ≥÷∏2 ΣχηοολοφΜατεριαλσΣχιενχεανδΕνγινεερινγΒειϕινγ ΠολψτεχηνιχΥνιϖερσιτψΒειϕινγ Χηινα ≥2÷ ΔεπαρτμεντοφΠηψσιχσΖηανϕιανγ ΝορμαλΙνστιτυτεΖηανϕιανγ Χηινα Αβστραχτ ≥∏√¬°√¬√ ×∏∏ Π∏ ∞¬ ∏∏∏≤∏2 ≤ ≤2 ∏ ξ ≤2⁄≤√∏∏2 ∏∏ ∏2 Κεψωορδσ ∏∏≤ξ2 ⁄≤ 质组成 组成元素原子半径很小 超硬材料具有高受 压强度 高热导率 优良光学透过性 高空穴迁移率 引言 ! ! ! ! 高声速 低热膨胀系数等物理性质 超硬薄膜是目前