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第 38卷 第 11期 激 光 与 红 外 Vol. 38,No. 11
2008年 11月 LA SER IN FRARED Novem ber, 2008
文章编号 : 100 15078 (2008) ·综述与评论 ·
硅基波导光开关及开关阵列的研究进展
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陈媛媛 ,吴静珠 ,余金中
( 1. 北京工商大学信息工程学院 ,北京 100037; 2. 中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室 ,北京 100083)
摘 要 :光开关是光网络中实现光交换的核心器件 。硅基波导光开关作为一类重要的开关器
件 ,具有体积小 、开关速度快 、兼容性好等优点 。近年来随着硅基波导制作技术的成熟 ,硅基波
( )
导光开关及开关阵列的研究日益受到人们的重视 。文章介绍了 SO I silicononin su later 光波
导 、聚合物光波导和 SiO2 光波导等三类常见的硅基波导在光开关及开关阵列方面的一些研究
进展 。
关键词 :光开关 ;光波导 ; SO I;聚合物 ; SiO2
中图分类号 : TN 252; TN 256 文献标识码 : A
Recen t Progress in Siliconba sed W avegu ide O ptica l
Sw itches and Sw itch Array s
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CHEN Yuanyuan ,WU J ingzhu , YU J inzhong
( 1. Inform ation Engineering Co llege, B eij ing Technology and Bu sine ss U n iversity, B eij ing 100037, Ch ina;
2. State Key L aboratory on Op toelectron ics, In stitu te of Sem iconductors, Ch ine se A cademy of Science s, B eij ing 100083, Ch ina)
A b stract:Op tical sw itche s are key components in op tical network to imp lem ent op tical exchange s. Siliconba sed
wavegu ide op tical sw itche s are important sw itch devices becau se of sm all bu lk, fa st sw itch sp eed, and good comp atib il
ity. R ecen t years, w ith the m aturation of facture technology of siliconb
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