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温湿度测量技术的发展趋势及应用 摘?要? 目前，温湿度传感器正朝着集成化、智能化、系统化的方向发展；与此同时，温湿度测量技术也在不断进步。本文首先介绍温湿度传感器的产品分类及性能特点，然后阐述温湿度测量领域的发展趋势，最后分别介绍湿度测量仪\温湿度测量系统的电路设计。关键词?集成温湿度传感器?传感器系统?非线性补偿?温度补偿?湿度校准 在工农业生产、气象、环保、国防、科研、航天等部门，经常需要对环境温度与湿度进行测量及控制。准确测量温湿度对于生物制药、食品加工、造纸等行业更是至关重要的。相比之下，测量湿度要比测量温度更复杂，这是因为温度是个独立的被测量，而湿度却受大气压强和温度的影响。目前，温湿度测量领域的新技术不断涌现，新产品也层出不穷。主要表现在以下两方面：（1）温湿度传感器正从分立元件向集成化、智能化、系统化的方向迅速发展，为开发新一代温湿度测控系统创造了有利条件；（2）在温湿度测量系统中普遍采用线性化处理、自动温度补偿和自动校准湿度等项新技术。1?集成温湿度传感器的产品分类及性能特点1.1 集成温度传感器 集成温度传感器主要包括模拟集成温度传感器、智能温度传感器（亦称数字温度传感器）两大类。模拟集成温度传感器是将温度传感器集成在一个芯片上、可完成温度测量及模拟信号输出功能的专用IC。模拟集成温度传感器的特点是功能单一（仅测量温度）、测温误差小、价格低、响应速度快、传输距离远、体积小、微功耗等优点，适合远距离测温、控温，不需要进行非线性校准。外围电路简单。其典型产品有AD590、AD592、TMP17、LM135等。 智能温度传感器是在20世纪90年代中期问世的。它是微电子技术、计算机技术和自动测试技术（ATE）的结晶。目前，国际上已开发出多种智能温度传感器系列产品。智能温度传感器内部都包含温度传感器、A／D转换器、信号处理器、存储器（或寄存器）和接口电路。有的产品还带多路转换器器（MUX）、中央控制器（CPU）、随机存取存储器（RAM）和只读存储器（ROM）。智能温度传感器的特点是能输出温度数据及相关的温度控制量，适配各种微控制器（MCU）；并且它是在硬件的基础上通过软件来实现测试功能的，其智能化程度也取决于软件的开发水平。典型产品有DS18B20、MAX6654、LM76等。1.2?集成湿度传感器集成湿度传感器主要有以下3种：（1）电压输出式集成湿度传感器其特点是采用恒压供电，内置放大电路，能输出与相对湿度呈比例关系的伏特级电压信号，响应速度快，重复性好，抗污染能力强。典型产品有美国霍尼韦尔（Honeywell）公司生产的HIH3605/3610、HM1500/1520。（2）频率输出式集成湿度传感器频率输出式集成湿度传感器在55％RH时的输出频率为8750Hz（典型值），当相对湿度从10％变化到95％时，输出频率就从9560Hz减小到8030Hz。这种传感器具有线性度好、抗干扰能力强、便于配数字电路或单片机、价格低等优点。典型产品有美国Humirel公司生产的HF3223。（3）频率／温度输出式集成湿度传感器它除电压输出端以外，还增加了温度信号输出端，通常以负温度系数（NTC）热敏电阻作为温度传感器。当环境温度变化时，其电阻值也相应改变并且从NTC端引出，配上二次仪表即可测量出温度值。典型产品为HTF3223型。1.3?单片智能化湿度／温度传感系统 最近，瑞士Sensiron公司在世界上率先研制成功SHT11、SHT15型智能化湿度／温度传感器。其外形尺寸仅为7.6(mm)×5(mm)×2.5(mm)，体积与火柴头相近。出厂前，每只传感器都在湿度室中做过精密校准，校准系数被编成相应的程序存入校准存储器中，在测量过程中可对相对湿度进行自动校准。它们不仅能准确测量相对湿度，还能测量温度和露点。SHT11/15的内部框图如图1所示。主要包含相对湿度传感器、温度传感器、放大器、14  图1?SHT11/15的内部框图位A/D转换器、校准存储器（E2PROM）、易失存储器（RAM）、状态寄存器、循环冗余校验码（CRC）寄存器、二线串行接口、控制单元、加热器及低电压检测电路。其测量原理是首先利用两只传感器分别产生相对湿度、温度的信号，然后经过放大，分别送至A/D转换器进行模／数转换、校准和纠错，最后通过二线串行接口将相对湿度及温度的数据送至μC。芯片内部有一个加热器，利用加热器可实现以下三种功能：①通过比较加热前后测出的相对湿度值及温度值，可确定传感器是否正常工作；②在潮湿环境下使用加热器，可避免传感器凝露；③测量露点时也需要使用加热器。2?温湿度测量领域的发展趋势2.1?广泛采用新技术、新工艺 随着科技的进步，许多新技术和新工艺被应用到温湿度测量领域中。例