基于光散射原理在高精度零件表面粗糙度检测的应用.pdf.pdfVIP

科技论坛 基于光散射原理 在高精度零件表面粗糙度检测的应用 姚春霞 (常熟市计量测试所。江苏 常熟 215500) 【摘 要 】本文采用基于激光散射原理的表面粗糙度测量方 式中： 法，可实现对高精度零件表面粗糙度的无损检测和非接触在线快速 检测．具有较高的经济价值。 = ，／∑，，一i=∑ ，K 【关键词 】激光散射 ；高精度零件；表面粗糙度；检测；数据 i=1 f=1 处 理 是光学常数，n为CCD光敏单元数，L为第 i单元的光强。 sn用于描述被测表面的散射光分布情况，称为 “光散射特征 引言