基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制.pdfVIP

圃俯 p史核心期刊 基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制 刘英明 ，徐 静 ，李四华 ，吴亚明 (1．中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室，上海200050； 2．中国科学院 研究生院，北京 100039) 摘 要：采用体硅微加工工艺制作了一种基于光栅光阀(GLV)的光学调制器，使用仿真软件对器件参数进 行了优化设计。对5／~_T-出来的器件进行了测试，并对测试结果进行了分析。器件成功的实现了光学调制 的功能，采用 10kHz的方波信号进行调制时，得到了峰峰值为50my，响应时间为10“S的调制后波形。 关键词：体硅工艺；光栅光阀；光学调制器；绝缘体上硅；消光比 中图分类号 ：TN256 文献标识码 ：A 文章编号 ：1002—5561(2012)04—0022—03 DevelopmentofbulksiliconprocessGLV opticalmodulator LIU Ying-ming1,2XUJing ，LISi-hua