沉积时间对球状微米金刚石聚晶结构的生长及其场发射特性影响.pdfVIP

第 4O卷第 8期 光 子 学 报 Vo1．40No．8 2011年 8月 ACTA PHoToNICA SINICA August2011 文章编号：1004-4213(2011)08—1253—4 沉积时间对球状微米金刚石聚晶结构的 生长及其场发射特性影响 高金海 ，李桢 ，张武勤 ，张兵临 (1郑州师范学院 物理系，郑州 450044) (2郑州大学 物理工程学院 材料物理教育部重点实验室 ，郑州 450052) 摘 要 ：利用微波等 离子体化学气相沉积法，在覆盖金属钛层的陶瓷衬底上，通过改变沉积 时间制 备 出不 同结构 的类球状微米金 刚石 聚 晶碳膜．通过扫描 电子显微镜 、喇曼光谱 、X射线衍射谱对碳 膜进行 了分析测试 ，并研究了不 同沉积时间下沉积的类球状微米金刚石聚晶薄膜的场致电子发射 特性．结果显示：不同的沉积时间所制备的碳膜形貌有很大变化，场致电子发射的效果也有很大不 同，从而得 出了场增强因子的降低和导电通道的增长是场发射效果变差的主要原 因． 关键词：微波等离子体化学气相沉积 ；场致电子发射 ；类球状微米金刚石聚晶 中图分类号 ：TB383；O484 文献标识码 ：A doi：10．3788／gzx1253 镜 (ScanningElectronMicroscope，SEM)、喇曼 光 I’ 5I罱 谱 (RamanSpectroscopy)、对类球状微米金 刚石 聚 场发射显示器 (FieldEmissionDisplay，FED) 晶薄膜 的表面行貌和 内部微结构进行了分析．分析 集阴极射线管(CathodeRayTube，CRT)和液晶 表明：随着沉积时间的延长，类球状微米金刚石聚晶 显示器 (LiquidCrystalDisplay，LCD)的优点于一 薄膜变厚、成片．利用二级结构场发射装置测试了其 体，以其低的应用电压 、低的成本 、大的温度适用范 场发射 ，发现变厚 、成片的类球状微米金刚石聚晶薄 围、宽广的视角、极短的反应时间 、高清晰度 、高质量 膜场发射性能变差并分析 了原因． 画面等优势在未来显示器应用 上 占有很重要 的地 1 实验 位口]．制约场发射显示器量化生产的主要障碍在于 场发射显示器的阴极材料的制备很不成熟．目前该 在陶瓷衬底上通过磁控溅射 的方法镀上一层金 显示器还处在实验室研发阶段，我国的福州大学_2]、 属钛 ，经过对金属钛机械抛光后．以此为衬底经过丙 韩 国的三星、日本的索尼等研究单位处在研发的前 酮超声清洗 10rain，去离子水超声清洗 10min，再 沿 3【]，他们都是以碳纳米管作为阴极材料 ，也有样机 放人 MPCVD沉积室中．在沉积过程 中微波的功率 的制造成功 ，但稳定性有待提高 ，未达到工业化的能 1700W ，氢气流量 100sccm 甲烷流量 10seem，反 力．由于金刚石 、类金刚石、非晶碳具有负 的或低 的 应室气压 6K ，衬底的温度 800℃，反应时间分别为 电子亲和势L4。]，人们正在努力把它们制备成新的场 2、4、6、8 h．利 用 型 号 为 JSM一6700F／INCA— 发射显示器阴极．化学气相沉积的方法L8提供 了一 ENERGY的SEM，在 10kV工作 电压下观测样 品 种在较低温度下，相对较容易制备可准确控制化学 的表面形貌 ，利用设备型号为 Renis