磁感应式磁力传动器及其性能实验研究.pdfVIP

高技术通讯 2011年 第21卷 第8期：824—829 doi：10．3772／j．issn．1002-0470．2011．08．009 磁感应式磁力传动器及其性能实验研究① 丛 明② 刘 侃③ 伍英华 (大连理工大学机械工程学院 大连 116024) 摘 要 对真空机器人用磁感应式磁力传动器进行了建模，对其磁路和机械本体部分进 行了设计。根据结构尺寸要求和已有各参数间的影响关系，确定磁路的关键参数。利用 集总参数法建立转矩计算模型，将得到的关键参数代入其中进行计算。搭建动态性能测 试平台，对其动态转矩特性进行测试，将结果与理论设计值比较，得到本磁力传动器的动 态性能特点：低频涡流损失小，低速传递转矩效率高，适合真空机器人工作条件。 关键词 真空机器人，磁感应式磁力传动器，集总参数，动态转矩 电涡流损失问题，影响传动效率。本文设计了一种 0 引 言 圆筒磁感应式磁力传动器，不同于常见的永磁传动 与电磁传动，它利用磁感应原理进行磁场力耦合，内 真空机器人在集束型硅片机器人传输系统中工 磁极选用软磁材料工业纯铁代替传统的永磁材料， 作时，其硅片传输手臂和末端执行器处于密闭的真 能够在高温、高真空度环境下工作，利用隔离套静态 空工作腔内，而包含动力输入的本体部分处于大气 密封高真空环境，实现真空机器人的转矩无接触传 环境中，工作腔 内要求高洁净度和高真空度…。如 递。 何在保证高洁净度与高真空度要求的前提下，将动 力从大气环境高效、准确地传递到真空环境是真空 1 磁感应式磁路的建模 机器人的关键技术。磁力传动技术是以现代磁学的 基本理论 ，应用永磁材料或电磁铁产生的磁力作用， 真空机器人手臂的主要运动方式是旋转运动 ， 来实现力或转矩 (功率 )无接触传递的一种新技 本设计的形式采用圆筒式，图1为磁感应式磁力传 术 J。利用磁力传动技术可 以通过隔离套实现真 动器结构示意图。磁路部分主要包括外转子、永磁 空环境的静态密封，从而保证真空环境的高洁净度 体、内转子和隔离套，还包括永磁体的磁极配置方 要求，并利用磁场力的耦合达到动力无接触传递的 式。每个永磁体是一个长方体块状单元，通过外转 目的。日本 JEL公司 STVHR4000真空机器人 采 子的径 向凹槽 以及 自身的磁性吸附在外转子之上， 用了先进的磁流体密封技术，它可工作在真空度为 10 Pa的环境下，但 由于受磁流体工作温度的限 制，不能应用于高真空环境 。Brooks公司的Mag． naTran8真空机器人 采用 电机直驱技术，但结构 复杂，制造装配工艺要求很高。而 Olivier．B等人发 明了一台应用磁力传动技术的液体搅拌釜 J，它利 用永磁传动技术实现转矩的无接触传动，但受永磁 材料温度特性影响，不能够应用于高温环境。杨超 1：外转子；2：永磁体；3：内转子；4：隔离套 君 等人研制了电磁感应式磁力驱动器，有效地解 图1 磁感应式磁力传动器结构示意图 决了内磁极永磁体高温不可逆退磁问题，但其存在 ① 国家自然科学基金 资助项 目。 ② 男，1963年生，博士，教授；研究方向：机器人与自动化技术；E-mail：congm@dlut．edu．ca ③ 通讯作者，E—mail：liukan0809@hotmail．oom (收稿 日期：2009—12-07) ·--— — 824 —·-——