基于相位凝固技术的激光反馈干涉术.pdfVIP

第 4O卷第 8期 光 子 学 报 Vo1．40NO．8 2011年 8月 ACTA PHOTONICA SINICA August2011 文章编号 ：1004—4213(2011)08一I172—5 基于相位凝固技术的激光反馈干涉术 刘惠兰 。，张晓青 。，曾文娟。，王俊杰 (1北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院，北京 100191) (2微纳测控与低维物理教育部重点实验室．北京 100191) (3j￡京信息科技大学 光 电信息与通信工程学院，北京 100192) 摘 要：针对激光反馈干涉术，提 出基于相位凝 固技术的调制解调方法，用以提高位移测量的分辨 率，并设计 了利用相位调制器进行调制的位移测量 系统．利用调制器进行外腔相位调制 ，采集调制 相位相对 固定的干涉光信号，通过解调重构得到被测的位移信息．进行了信号调制、采样、重构技术 的研究以及误差分析，并通过仿真验证了方法的可行性．结果表明，采用5点相位凝固采样技术，测 量准确度可以达到 ／20．此方法可提高激光反馈干涉术的测量分辨率 ，实现信号实时采集处理，可 用 于位移 的实 时测量． 关键词 ：相位凝 固技术 ；激光反馈干涉 ；位移测量 ；电光调制器 中图分类号 ：TN247 文献标识码 ：A doi：lO．3788／gzxb2O114008．1172 探测器或外部的光电探测器监测输出功率的变化． 0 引言 系统基本结构如 图 1．激光二极管 (Laser 由于激光反馈干涉系统具有结构简单、紧凑、易 Diode，LD)的输出光经准直透镜准直后照射到被 准直和造价低等优点 ，近年来得到 了国内外研究人 测物体上 ，被测物表面又将一部分光反馈 回激光腔 ， 员的广泛关注 ，针对激光反馈干涉技术 的理论 与应 携带外部物体信息反馈 回激光内腔的光与腔内光相 用开展了深入的研究l】_3J．激光反馈干涉技术在测量 混合 ，发生 自混合干涉 ，从而改变激光器的输出频率 和传感领域具有广泛的应用前景，包括光学器件或 和功率．通过改变激光器的输 出光功率，利用 LD后 光学系统的特性测试 ]、距离及位移的测量 ]，振动 部的光 电探测器 (Photodetector，PD)进行光功率 测量l6]、速度测量[、形貌测量L8等． 探测．检测信号通过放大及信号处理得到测量结果． 通常采用条纹计数法的激光反馈干涉技术只能 Collimator Target 达到二分之一光波长 的测量分辨率 ，本文主要针对 激光反馈干涉技术 中位移 的测量 ，提 出一种基于相 位凝固技术的信号调制解调方案 ，进行 了调制解调 算法仿真 ，讨论 了影响测量准确度 的主要 因素和解 决方法． 1 激光反馈 的基本理论 激光反馈干涉技术 ，又称 自混合干涉技术 ，是指 图 1 传 统激 光 反馈 干 涉 系统基 本 结构 Fig．1 Schematicdiagram oftraditionallaserfeedback 在激光应用系统中，激光器输 出光被外部物体反射 interferometersystem 或散射后，其中一部分光又被反馈回激光器的谐振 工作在光反馈状态下的激光器可用三镜腔模型 腔，与腔内光混合，反馈光携带了外部物体的信息， 描述．激光器输出光功率被反馈光调制，因此光反馈 当外部反射物的相对距离发生变化时，输出光