双光栅衍射位移测量实验仪的研制.pdfVIP

兰兰 = ! 实 验 技 术 与 管 理 第 28卷 第 7期 2O11年 7月 CN11—2034／T ExperimentalTechnologyandManagement VoI．28 No．7 Jn1．2011 双光栅衍射位移测量实验仪的研制 徐 龙 ，何章宏 ，黑杨辉，刘晓军 (华 中科技大学 机械学院，湖北 武汉 430074) 摘 要 ：介绍 了一种双光栅衍射位移测量教学实验仪器 的工作原理、系统结构、研制 内容、实测结果 以及在实 验教学中的应用 。 关键词 ：实验仪 ；双光栅干涉 ；位移测量 中图分类号 ：TH741 文献标志码 ：A 文章编号 2011)07—0085—03 Developmentofadual—gratinginterferencedisplacementmeasuringinstrument XuLong，HeZhanghong，HeiYanghui，LiuXiaojun (SchoolofMechanicalScienceandEngineering，HuazhongUniversityof ScienceandTechnology，W uhan430074，China) Abstract：A dual—grating diffraction displacementmeasuring instrumentforexperimentalteaching isintro— duced．Itsprincipleisexplainedanditsstructureisdescribed and itsapplication toexperimentalteaching is gtven． Keywords：experimentalinstrument；dual—gratingsinterference；displacementmeasurement 在现有的光学高精度位移测量仪器 中，基于激光 1 双光栅衍射位移测量原理 干涉或衍射的大范围、高精度位移测量仪器只有激光 干涉仪，包括基于稳频激光源的单频激光干涉仪、双频 双光栅衍射的基本原理是 ，一个光栅将入射光分 激光干涉仪和多普勒激光干涉仪 。这些仪器被广泛地 束，产生不同级次的衍射光 ]，衍射光被另一光栅衍射 用于工业生产和科研之 中口]。因而，给学生提供条 后汇聚叠加、形成干涉 。如图 l所示 ，当一束激光穿过 件 ，让他们亲 自动手，在实验 中体会和了解干涉原理在 两栅线平行 ，位置也平行 的光栅时，该激光首先被第 1 实际精密位移测量 中的应用 ，是很有必要的。然而这 个光栅 G1衍射 ，产生+1级 ，0级 ，和一1级衍射光 ，这 些仪器结构复杂，体积庞大 ，且非常娇贵 ，不适合用作 些衍射光继续穿过第 2个光栅 G2时，也分别发生衍 学生实验 。近些年 ，作为配套部件 ，在一些商业化仪器 射 。如果将第 1个光栅的+1级衍射光在第 2个光栅 中采用 的单一衍射光栅大范围高精度位移传感器 。]， 产生的0级 、+1级和一1级衍射光分别记作 (+1，0)、 也是利用光学衍射、干涉原理 ，虽然体积不大，成本也 (+1，+1)和 (+1，一1)，则还有(O，一1)、(0，0)、(0，一1) 不高，但是装调很不方便 ，也不适合用于学生实验。 和 (一1，+1)、(一1，0)、(一1，一1)级衍射光。如果 2 至今为止 ，还没有一套结合光学衍射、干涉原理和