微纳力值计量标准的研究和溯源体系的建立.pdfVIP

第32卷 第5期 计 量 学 报 Vo1．32，No5 2011年 9月 ACTA METROLOGICA SINICA September，2011 doi：10．3969／j．issn．1000—1158．2011．05．13 微纳力值计量标准的研究和溯源体系的建立 胡 刚 (中国计量科学研究院力学声学所，北京 100013) 摘要：微牛、纳牛范围力值计量研究是目前国际计量领域的重要研究发展方向。总结了美国标准技术研究院、 英国国家物理实验室、德国物理技术研究院、韩国标准和科学研究院等研究机构近年来研制的可溯源到sI的微纳 力值标准装置、微纳力值传感器、参考悬臂梁以及微纳力值溯源方法。提 出了微纳力值溯源体系的框架，为新材 料、生物、微电子等各应用领域微纳力学特性计量量值溯源提供了技术保证。 关键词 ：计量学；微纳力值；静电力；溯源体系 中图分类号：TB931 文献标识码 ：A 文章编号 ：1000—1158(2011)05-0450-05 ResearchonMeasurementStandardsandEstablishmentof TraceableHierarchyofMicro-nanoForceMetrology HuGang (MechanicsandAcousticsDivision，NationalInstituteofMetrology，Beijing100013) Abstract：Theresearchofforcemetrologyintherangefrom nanonewtontomicronewtonisanimportantorientationin international metrological researchesatpresent．Up—to-dateresearchachievementsoftheforcestandards，forcesensors， referencecantileversand traceableapproachesin the rangerfom nanonewtontomicronewton in NIST，NPL，PTB and KRISSraedescribed．A tracebalehierarchyofmicro—nanoscaleforcemetrologyisputforwrad．Itguraanteesaccuracyand consistencyofdisseminationformicro—nanomechnaicalpropertiestestinginthefieldofadvna cedmaterials，biotechnology， microelectronicsnadete． Keywords：Metrology；Micro—nanoforce；Electrostaticforce；Tracebalehierrachy 力值测量采用的大多数方法都没有溯源到国际单位 1 引 言 制SI，其中不少参数都是根据相关理论和经验数据 进行估算后得到的。这就导致了微纳力值的测量结 随着科学技术的发展、制造能力的提高，生物、 果准确度和可靠性较低，采用不同方法得到的测量 微电子、新材料、航空航天等诸多领域对微牛、纳牛 结果一致性较差。因此，建立微纳力值溯源体系，研 范围力值(以下简称微纳力值)计量的准确性、溯源 制可溯源到SI的微纳力值标准装置、微纳力值传感 性要求越