小尺寸低折射率差硅基二氧化硅阵列波导光栅.pdfVIP

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2017-09-12 发布于安徽
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第 40卷第 8期光子学报 Vo1．40No．8 2011年 8月 ACTA PHOTONICA SINICA August2011 ArticleID：1004—4213(2011)08—1137-6 NovelCompactLow RefractiveIndexContrastSilica—on-SiliconAW G w ANG W en—min一，LIU W en ，M A W ei—dong (1WuhanNationalLaboratoryforO ￡0P c￡r0 c，CollegeofOptoelectronicScienceandEngineering， HuazhongUniversityofScienceandTechnology，Wuhan430074，China) (2AccelinkTechnologiesCo．，Ltd．，Wuhan430074。China) Abstract：Arrayedwaveguidegrating(AWG)一typeopticalcomponentsarewidelyusedinoptical transmission system ，andthelow costAWG chipsareinmoreandmoreurgentneed．Amongall themethodsforloweringtheAW G cost，reducingtheAW G chipsizeisoneofthemosteffective methods．A novelcompactAW G based on low refractive index contrastsilica—on—silicon (SoS) technologywasproposed．InthisAWG ，onlythesegmentsconnectedwiththeslabwaveguidesin theinputandoutputwaveguidesareairtrench (AT)waveguides．ByusingtheseAT segments。 thedistancebetween theadjacentoutputwaveguidesconnected with theoutputslab was decreacedgreatly，sothefocusesofslabwaveguides，andthenumberofarrayedwaveguideswere decreacedgreatly．Thus，the size ofAWG chip was decreased dramatically．The arrayed waveguidesand the segmentscoupling to fibers in the inputor outputwaveguideswereall fabricatedwithlow refractiveindexcontrastwaveguides，forthepurposetoobtainlow coupling losseswithfibersandgoodperformancesastraditionalSoSAW Gs．ThesizeofanAW G designed consisting40channelson 100GHzITU gridisonly23．88mm ×10．5mm 。which areaisabout 1／6ofatraditionalAWGwiththesamefunction． Keywords：Airtrench；Arrayedwaveguidegrating(AWG)；Passbandwidth；Silicaonsilicon (SoS)technology CLCN：TN256 D