静力水准传感器中厚膜陶瓷电容传感器的研制.pdfVIP

中国科技论文在线 静力水准传感器中厚膜陶瓷电容传感器的 研制 何晓业，汪 鹏，许少峰，王 巍 ( 中国科学技术大学国家同步辐射实验室，合肥 230029) 摘要：为研制可用于粒子加速器等大科学工程的高精度静力水准传感器，结合国内电容微位 移测量技术，完成厚膜陶瓷电容的结构设计，针对参数设计，采用了正交实验法和 Ansoft Maxwell 有限元仿真软件的优化方法，并完成了电容传感器的制备及样机的测试。测试实验 的结果表明，传感器具有2.608 5% 的线性度。 关键词：静力水准传感器；厚膜电容；正交实验；Ansoft Maxwell 软件 中图分类号：TH73; TH822 文献标识码：A Development of thick film ceramic capacitor in hydrostatic levelling sensor He Xiaoye, Wang Peng,