铬原子束激光感生荧光强度的理论和实验.pdfVIP

第36卷第 12期 同济 大 学 学 报(自然 科 学版) V0l】．36No．12 2008年 12月 JOURNALOFTONGJIUNIVERSITY(NA 珉AI．SCIENCE) Dec．2008 铬原子束激光感生荧光强度的理论和实验 张宝武 ，李同保 ，张文涛 ，一，马 艳 (1．同济大学 物理系，上海 200092；2．桂林电子科技大学 电子工程学院，广西桂林 541004) 摘要：采用铬原子束激光感生荧光激光稳频技术解决铬原子光刻实验中激光频率随时间漂移的问题．从理论和实 验两个方面对铬原子束激光感生荧光强度随激光功率和坩埚温度的变化情况进行了研究．结果显示，在坩埚温度 一 定的情况下，由于铬原子的饱和效应，当激光功率增大到6mW左右时，荧光斑点的中心强度会达到饱和然后随 激光功率的增加变化不大．另外，随着激光功率的增加，荧光斑点轮廓曲线的半高宽在变大的同时，对比度减小．在 激光功率一定的情况下，由于铬原子喷射的个数与坩埚温度成正比，荧光斑点的中心强度随坩埚温度的增加而增 加，并且不出现饱和效应；随着坩埚温度的升高，荧光斑点轮廓曲线的半高宽基本不变，而对比度增大．这些变化趋 势和理论结果符合地很好 ． 关键词：原子光刻；激光感生荧光；激光稳频 中图分类号：O433 文献标识码 ：A 文章编号：0253—374X(2008)12—1730～04 TheoreticandExperimentalStudyonIntensityofLaserInduced FluOrescenceDerivedfrOm CrAtomicBeam ZHANGBaowu ，LITongbao ，ZHANG Wentao ，一，MA Yan (1．DepartmentofPhysi~，TongjiUniversity，Shanghai200092，China； 2．DepartmentofEleetmnieEngineering，GuilinUniversityofElectronicTechnology，Guilin541004，China) Abstract：Laserfrequencystabilizationderivedfrom Cratomicbeam laserinducedfluorescenceisagood waytosolveexcursionoflaserfrequencyinCratom 1ithography．Calculationandexperimentsare conductedtorevealtheeffectsof1aserpowerandcrucibletemperatureontheinducedfluorescence intensity．W ithfixedcrucibletemperature．thecentralintensityoffluorescencedoesn’tchnagevery muchafterthelaserpowerreaches 6mW duetotheCrsaturationabsorption．Inaddition．thehigher powertheIaserhas，theIragerfullwidthathalfmaximum ( )，nadtheIowercontrastthefluo． reseencewilIhave．Withfixedlaserpower，thehighertemperaturethecrucibleisat，thehighercentraI intensityfluorescencewillhaveduetothefactthatthehighertemperatureofcruciblecanmakemore atoms，andthesharpercontrastitwillhave，buttheF HM doesn’tchangemuchwithcurcibletem— pe