多线切割机的速度同步控制研究.pdfVIP

2011年 8月 机床与液压 Aug．2011 第39卷 第 l6期 MACHINE TOOL ＆HYDRAULICS Vo1．39No．16 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2011．16．030 多线切割机的速度同步控制研究 邵鹏 ，高志，余世超 (华东理工大学机械与动力工程学院，上海 200237) 摘要：介绍多线切割机的工作原理与速度同步控制的重要意义，建立控制系统的运动学与动力学模型，提出速度同步 控制的PID控制方法。研究结果表明：采用PID控制方法较好地解决了速度同步控制的问题，满足控制系统的精度要求。 关键词：多线切割机；速度同步控制；PID控制；控制精度 中图分类号 ：TP13 文献标识码：B 文章编号：1001—3881(2011)16—084—3 StudyonSpeedSynchronizationControlforMulti．wireSaw SHA0Peng，GA0Zhi，YU Shichao (SchoolofMechanicalandPowerEngineering，EastChinaUniversity ofScienceandTechnology，Shanghai200237，China) Abstract：Theworkingprincipleandtheimportanceofspeedsynchronizationcontrolinamulti—wiresawwereintroduced．Th e kinematicsanddynamicsmodelsofthecontrolsystem wereestablishedandaPIDcontrolmethodwasproposedforsynchronousvelocity contro1．Thestudyresultsshow thatthePID controlmethodcanbeusedtosolvetheproblem ofsynchronousvelocitycontrolandthe controlaccuracydemandismet． Keywords：Multi—wiresaw；Speedsynchronizationcontrol；PIDcontrol；Controlaccuracy 在现代社会生产中，磁性材料、水晶、陶瓷、化 时为了充分利用金属切割丝线，切割线在向前运动了 合物、氧化物、人造宝石、单晶硅等各种硬脆性材料 一 段较长的距离后，各轴反转，使得切割线向后运动 的应用极其广泛。这些材料在表面机械损伤层、品格 一 段较短的距离，保证每次都有新丝进入加工辊组的 的完整性等方面的要求，均对传统的加工方法提出了 同时又能多次使用旧丝，大大提高了切割线的利用 挑战。尤其随着电子工业的发展，半导体材料的需求 率。 量越来越大，以致传统的加工设备无论在数量还是质 加工辊 金属切割丝线 放线端张力重锤 导线轮 量上都无法跟上发展的需要。而多线切割机以其极高 的生产效率和出片率，在大直径硅片加工领域具有很 强的优势 ，已经取代了传统的内圆切片机而成为主要 的半导体材料加工设备…。 多线切割机中，切割线走线系统是其核心部分。 切割线在走线过程中抖动幅度和频度直接决定了线切 割加工的质量 (切割面的平行度、切痕的最小宽度 等)。 图1是多线切割机的总体结构示意图，其中右半 部分是放线和收线系统，左半部分是布线和加工系 放线辊 收线端张力重锤 统。金属切割丝线由放线辊释放，经过导线轮系走到 放线端的张力重锤，然后再经过导线轮系导人加工辊