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第 卷 第 期 中 国 民 航 学 院 学 报
24 5 Vol.24No.5
年 月 ,
2006 10 JOURNALOFCIVILAVIATIONUNIVERSITYOFCHINA October2006
射频磁控溅射Cr/CrN膜微结构和力学性能研究
1a 2 1a 1b 2 2
李 立 刘 峰 柴立全 王 娟 孟月冬 任兆杏
, , , , ,
中国民航大学 理学院 基础实验中心 天津 中国科学院等离子体物理研究所 合肥
( ; , ; , )
1. a. b. 3003002. 230031
摘 要 利用射频磁控溅射制备了 多层薄膜 并对比单层 薄膜 分析研究了多层膜周期与结构和性能之间的
: Cr/CrN , CrN ,
关系 研究结果表明 多层膜中没有出现柱状晶体结构 而且结晶取向与单层 有显著区别 多层膜的应力普
。 : , CrN ;
遍小于单层 硬度略高于或接近于单层 在外力作用下的抗变形能力远高于单层 多层膜的应力和
CrN, CrN, CrN;
硬度随周期厚度的减小而增大,在周期 时硬度值达到最大 ,表明 多层膜的硬度与周期结
15nm 23.8GPa Cr/CrN
果有关,而且存在使薄膜性能达到最佳的周期值。
关键词 射频磁控溅射 多层薄膜 微结构 纳米硬度 内应力
: ; ; ; ;
Cr/CrN
中图分类号: 文献标识码: 文章编号: - ( ) - -
O484 A 10015000200605005604
StudyonMicrostructureandMechanicalPropertiesofCr/CrN
MultilayeredFilmsPreparedbyRFMagnetronSputtering
1a 2 - 1a 1b - 2 - 2
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LILiLIUFengCHAILiquan WANGJuan MENGYuedongRENZhaoxing
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