不同基底上SiO2薄膜的显微结构和力学性能.pdfVIP

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2017-09-12 发布于重庆
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不同基底上SiO2薄膜的显微结构和力学性能.pdf

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第28 卷第6 期无机材料学报 Vol. 28 No. 6 2013 年6 月 Journal of Inorganic Materials Jun., 2013 文章编号: 1000-324X(2013)06-0653-06 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2013.12461 不同基底上 SiO2 薄膜的显微结构和力学性能 1,2 1 1 王河 , 贺洪波 , 张伟丽 (1. 中国科学院上海光学精密机械研究所, 中国科学院强激光材料重点实验室, 上海 201800; 2. 中国科学院大学, 北京 100039) 摘要: 用电子束蒸发技术在K9 玻璃及两种不同取向的钇铝石榴石(Y Al O , 简称YAG) 晶体上沉积了SiO 薄膜, 3 5 12 2 采用X 射线衍射仪和纳米划痕仪对薄膜显微结构和力学性能进行了研究。实验结果表明: 薄膜在K9 、YAG(100) 和YAG(111)基底上分别呈现非晶态和多晶态; 沉积在不同基底上的薄膜的弹性模量并无明显差异; SiO 薄膜在K9 2 和YAG 基底上呈现不同的划痕破坏模式, 并且YAG 晶体上薄膜的粘附失效临界附着力远远小于SiO2 薄膜与K9 基底的附着力。本文从薄膜的结构和弹性模量两方面分析解释了不同基底上薄膜的力学行为。关键词: SiO2 薄膜; 显微结构; 弹性模量; 附着力; K9; YAG 中图分类号: TB43 文献标识码: A Substrate Effects on the Microstructure and Mechanical Properties of SiO Thin Films 2 1,2 1 1 WANG He , HE Hong-Bo , ZHANG Wei-Li (1. Key Lab. of Materials for High Power Laser, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sci- ences, Shanghai 201800, China; 2. University of Chinese Academy of Sciences