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《半导体光电》2007 年 12 月第 28 卷第 6 期 王立彬 等 : 大功率倒装结构 L ED 芯片热模拟及热分析
光电器件
大功率倒装结构 L ED 芯片热模拟及热分析
王立彬 , 陈 宇 , 刘志强 , 伊晓燕 , 马 龙 , 潘领峰 , 王良臣
( 中国科学院半导体研究所 , 北京 100083)
( )
摘 要 : 对功率型倒装结构发光二极管 L ED 温度场分布进行了有限元模拟 ,与实测结果进
行了比较 ,并结合传热学基本原理对模拟结果进行了分析 。结果表明 ,凸点的形状及分布与芯片内
部温差有着密切的关系 ,蓝宝石的厚度对芯片内部温差也有一定的影响 。同时 ,对倒装结构与正装
结构的热阻进行了比较 。
关键词 : GaN ; L ED ; 热模拟 ; 有限元 ; 倒装结构
中图分类号 : TN 3 12 . 8 文献标识码 : A 文章编号 : 100 1 - 5868 (2007) 06 - 0769 - 05
Thermal Simulation and Analysis of High Power Fl ipchip L ightemitting Diodes
WAN G Libin , C H EN Yu , L IU Zhiqian g , YI Xiaoyan ,
MA Lon g , PAN Lin gf en g , WAN G Lian gchen
( Institute of Semiconductors , Chinese Academy of Sciences , Beij ing 100083 , CHN)
Abstract : The t her mal p rop ert y of high power flipchip lightemit tin g dio de ( L ED ) wa s
simulat ed and analyzed . The re sult s show t hat t he diff erence in t emp erat ure of t he L ED die are
clo sely relat ed wit h t he shap e and t he di st ribution of sol der bump s. The t hickne ss of sapp hire
al so affect s t he t her mal p rop ert y of lightemit tin g dio de die . The co mp ari son i s given bet ween
flipchip an d conventional st r uct ure .
( )
Key words : GaN ; lightemit ting dio de L ED ; t her mal simulation ; finit e element analy si s ;
flipchip
1 引言 本文对功率型倒装结构 L ED 进行了有限元模
拟 ,并对模拟结果进行了热学理论分析 ,发现在功率
与传统的白炽灯相比, 白光 L ED 具有节能、环 型倒装结构 L ED 中 ,芯片的内部结构对芯片内部温
保 、发光效率高 、显色指数高 、响应速度快 、体积小和 差有很大的影响 , 即芯片中存在较大的横向热阻。
工作寿命长等突出优点 ,被视
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