甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响.pdfVIP

第 3卷 第 1期 材 料 研 究 与 应 用 Vo1．3，NO．1 2009年 3月 MATERIALSRESEARCH AND APPLICATION M ar．2OO9 文章编号 ：1673—9981(2009)01—0028—04 甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响 屈 芳 。，白亦真 ，庄春强 ，贾福超 。，邢娇杨 ，姜 辛。 (1．大连理工大学物理与光 电工程学院，辽宁 大连 116024；2．大连理工大学三束材料表面改性实验室，辽宁 大连 116024； 3．大连理工大学材料科学与工程学院，辽宁 大连 l16024) 摘 要 ：在不同的甲烷流量下，用热丝化学气相沉积方法 (HFCVD)在 N型(1OO)单 晶硅片上制备 了掺 硼金刚石薄膜．用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱 (Raman)对薄膜检测 的结果表 明．随着 甲烷流量 的 增加 ，掺硼金刚石薄膜 的二次形核增加 ．晶粒尺寸减小 。晶界变得模糊 ．结晶性下降．非金剐石相增多，过 高的甲烷流量导致掺硼金刚石薄膜的