VTE法制备γ-LiAlO2α-Al2O3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响.pdfVIP

维普资讯 第34卷 第2期 人 3- 晶 体 学 报 Vo1．34 No．2 2005年4月 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS April．2005 VTE法制备 —LiAIO2／trA·I2O3复合 衬底以及腐蚀和退火对其影响 刘世良，李抒智，周圣明，王银珍，彭观良，徐 军 (中国科学院上海光学精密机械研究所， 海201800) 摘要：通过气相传输平衡法(VTE)制备了 一LiAIO／or—A1O 复合衬底，使用5％的稀盐酸对其进行腐蚀并在900~C 退火72h。利用x射线衍射、偏光显微镜及扫描电镜对复合衬底进行了分析，发现在白宝石。面(11—20)和 面(1— 102)均获得单相多晶的 —HAlO，且后者的择优取向好于前者。腐蚀可以提高样品的择优取向，在5％的稀盐酸 中，时间控制在2min左右可获得较好的结果。退火后 一LiA10颗粒质量得到改善，白宝石。面上 一LiA10 的质量 优于r面上的 一LiA10，两者都出现颗粒长大现象。 关键词：一LiA102／or—A12O3；复合衬底；气相传输平衡；腐蚀；退火 中图分类号：0793 文献标识码：A 文章编号：1000-985X(2005)02-0250-05 VTE PreparationofCompoundSubstratesof~,-LiAIO2／tr-AI2O3 andInfluenceofErosionandAnnealing LIUShi—liang，LIShu—zhi，ZHOUSheng—ming，WANGYin·zhen，PENGGuan—liang，XUJun (ShanghaiInstituteofOpticsnadFineMechnaics，ChineseAcademyofSciences，Shanghai201800，China) (Received23July2004) Abstract：Thecompoundsubstratesofy—LiA102／0[一A12O3werepreparedbyvaportransportequilibration (VTE)，thenerodedbyhydrochloricacidwith5％ concentrationandannealedat900％ for72h．The substrateswereanalyzedbyXRD，polarizingmicroscopeandSEM．Itwasobservedthatasinglephase andmuhicrystalliney—LiA102wasobtainedonboth(11—20)and(1—102)planesofthesapphire，andthe preferredorientationofthelatterwasbetterthan thatoftheformer．Thepreferredorientationofthe substrateswasupgradedaftererosionandthepreferredresultsweregotbyerosionfor2minutes．Th e propertyofrgainsofy—LiA102on(11—20)planeofsapphirewassuperiortothatof(1—102)plane，and bothkindsofrgainsappearedtorgowupaswel1． Keywords：y—LiA102／0[·A12O3；compoundsubstrates；VTE；erosion；annealing 1 引 言 GaN