SEM及AFM校准放大倍率标样的研究.pdfVIP

第 22 卷 第 5 期 电 　子 　显 　微 　学 　报 Vol22 ,No5 2003 年 10 月 Journal of Chinese Electron Microscopy Society 200310 ( ) 文章编号 2003 SEM 及 AFM 校准放大倍率标样的研究 盛克平 , 丁听生 , 陆国辉 (上海市计量测试技术研究院 ,上海 200233) 摘 　要 : 本文报告了用有证标准粒子研制成紧密排列的亚微米标准样品 ,并给出了研制成的标准样品的不确定度 评估。将结果与国际先进的标准参考物质进行了分析比较。该亚微米标准粒子的紧密排列的标准样品在扫描电 子显微镜和原子力显微镜放大倍率校准中有实际的应用价值。 关键词 : 参考物质 ;不确定度 ;放大倍率校准 ;紧密排列 中图分类号: TN16 　　文献标识码 : A 　　在进入 21 世纪的今天 , 随着纳米科技、生命科 1 　紧密排列标准样品的制作 学的蓬勃发展 ,透射电子显微镜、扫描电子显微镜、 扫描隧道显微镜、原子力显微镜已广泛应用于实验 聚苯乙烯标准粒子为含水悬浮液 ,粒径尺寸的 室基础科学研究、产品研制开发的数据采集和生产 ( ) 平均值可溯源到美国国家标准技术研究院 NIST 的 过程中的质量控制。但在这些仪器的使用中 ,往往 3 长度计量标准。其密度为 105gcm ,折射率为 159 并不知道所提供的数据与正确值的偏离量。现在越 ( ) [5 ] @589nm 23 ℃ ,其它技术参数如表 1 所示 。 来越多的质量保证体系 ,如 ISO9000 系列等 ,要求获 表 1 　美国 Duke 科学公司有证标准粒子技术参数 得的数据具有量值溯源性。为了使在这些仪器上获 得的数据符合质量体系的要求 , 标准参考物质 Table 1 　Technical data of certified particle size standards produced by Duke Scientific Co ( ) ( ) SRM 及二级标准物质 SSM 对仪器的校验将起到 很重要的作用。 目录号 标称粒径 平均粒径 粒径分布标准偏差 固体 溯源值 和变异系数 含量 目前, 国际上提供这类标准参考物质的有英国 的Agar 科学公司的2160 线mm 和 19 线mm 的方格 3200A 200nm 199nm ±6nm 34nm ( 17 %) 1 % 标准样品[1 ] ;美国国家标准技术研究院研制的标准 3300A 300nm 300nm ±5nm 43nm( 14 %) 1 % 参考物质 SRM484g[2 ] ( 该标准参考物质是用薄的金