用等离子化学气相沉积法沉积阀座和阀杆的陶瓷膜.pdfVIP

维普资讯 标准分享网 免费下载 够 ，调杆 饲 磁， 弓f一 一 。 闽 门 】998年第1期 用等离子化学气相沉积法沉积阀座和阀杆的陶瓷膜 蒋悖始 衙 l7牛．4g-3 1·前言 ’ 质合金切削刀片的热CVD所用的涂复方法进 为了延长核动力装置中阀座和阀杆的使用 行设计，并专门配备了三极管电极， ‘便在低沉 寿命，利用等离子化学气相沉积(CVD)开发了 积温度下达到高的附着强度。这些试验中所用 一 种独特的陶瓷涂复技术。在司太立台金和不 的基体是司太立包复 AISI316L(司太立厚 锈钢基体上沉积出AI?Os／TiN／TiC、AIzO3／TiC lmm)和 AISI403钢板 (20ram× fi0mm× 和TiN／TiC多层膜。用各种方法评价了陶瓷膜 70ram)。 的机械和物理性能。涂复试样在高温水环境中 由于AI O ／TiN／TiC、AI O ／TiC和TiN／TiC 显示出良好的耐磨性。 多层膜具有优异的耐磨性和耐蚀性，因此选为 将试样在548K(275℃)蒸压器中浸渍200 替代材料。沉积条件简要总结如下：总气体压力 小时评价了耐蚀性。涂复试样在减少溶解于试 为 0．2～3mbar，N ：H ：TiC] (对于TiN)=l d 验溶液的钴量方面显示出优异的性能。汽蚀浸 80：6，CH ，H：：TiCI (对于TiC)一l3 t 80 蚀试验表明，多层涂复 AISId03试样的重量损 7，CO ：H ：AICI，(对于 Al：O )=17 80 失小于未涂AISI403试样的l ，但涂复司太立 3，标准功率密度为 0．8W／era。，沉积温度为 包复AISI316L基体的重量损失与未涂试样几 973K(对于TtN)和l173K(对于TiN、AhO )。在 乎相同。 每种条件下均获得聚晶组织。 司太立合金是一种钴基合金，具有优异的 (2)评价 耐磨性和耐擦伤性。司太立合金通常用于制造 汽蚀浸蚀试验 每种试样均用超声波汽蚀 核动力装置中的阀座和阀杆。但是，司太立合金 浸蚀试验装置，按照ASTM G一32进行汽蚀浸 溶解于高温水，而且钴被释放到反应堆的冷却 蚀试验 试验之后测量重量损失。 水中而成为辐射源。为了避免这种情况，有时采 耐擦伤性和耐磨性 用阀瓣和阀座试样进 用不锈钢作为一种替代材料。然而，由于不锈钢 行滑动试验。在高温纯水(548K)中将阀瓣和阀 的耐擦伤性、耐蚀性和耐浸蚀性差，因此这种材 座以2kgf／mm 的压力相互接触摩擦。此外，在 料只能用在限定部分。 滑动试验期间检验密封能力。该试验工况是根 试图将陶瓷膜用于这些材料的表面保护。 据沸水反应堆的一次冷却剂系统的实际工况拟 虽然陶瓷涂复技术已在工业中用于切削刀具和 定的。 模具的耐磨涂层，但在高温、高压水中的防蚀应 耐蚀性 耐蚀性用蒸压试验装置进行评