TFT-LCD阵列穿透率提升的研究.pdfVIP

王 永等 ：TFT—LCD阵列穿透率提升的研 究 皎术宓流 文章编号：1006—6268(2011)09—0022—04 基金项 目：江苏省科技厅科技 支撑计划(NO．BE2009171) TFT—LCD阵列穿透率提升的研究 王 永，孙 可 ，谢 莉 。孙士祥 (南京信息职业技术学院微电子学院，江苏南京 210046) 摘 要：提高薄膜晶体管液晶显示器阵列基板的光利用效率的主要方法是提高开口率和穿透率。文章 制作了低温多晶硅阵列穿透区多层膜。考察膜层以及结构对穿透率的影响。研究阵列光线穿透率提升的 方法。结果表明，层间介质~ (ILD)完成后不同折射率膜层接 口对穿透率影响较大，平坦层 (PL)的厚度 对穿透率没有明显影响，导电膜氧化铟锡(ITO)厚度增加，穿透率下降。通过在阵列穿透区减少膜层数 量和改变膜层组分，减少折射率差异较大的界面，可增加穿透率7％左右。 关键词：薄膜晶体管；阵列基板；穿透率；折射率 ． 中图分类号 ：TN141．9 文献标识码 ：A StudyonArrayTransmittanceImprovementofTFT_LCD WANG Yong，SUN Ke，XlELi，SUN Shi-xiang (FacultyofMicroelectricEngineering，NanjingCollegeofInformationTechnology，Nanjing Jiangsu210046，China) Abstract：Apertureratioandtransmittanceincreasementwerethemainmethodstoimprove lightefficiencyofTFT—LCDarraysubstrate．Multilayerthin msoflow temperaturepoly-Si arraytransm issionareawasmade．theeffectofthin州msandstructureontransmittancewas discussed，how toenhancelighttransmittancewasstudiedinthepaper．Theresultsshow that transmittancewasgreatly affectedby differentrefractive index surfaceafterinterlayer dielectrics finished，the effectofplanarization layerthickness on transm ittancewas not obvious．transmittancewasdecreasedwithITO thicknessincreased．Bydecreasingthef¨m numbers，changingthef¨m component，theintersurfacew ithgreatdifferenceofrefractive indexwasreducedandtransmittancecanbeimprovedby7％ approximately． Keywords：TFT；arraysubstrate；transmittance；refractiveindex 22 现代显示AdvancedDisplay Sep．2011，总第128期 收稿 日期：2O11-07—21 王 永等 ：TFT—LCD阵列穿透率提升 的研