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维普资讯 第25卷第5期 国外金属热处理 Vo1．25．NO．5 20O4年 lO月 GI10WAIⅡNsHUREamⅡJ Oct，20O4 热化学和等离子辅助预处理与硬质PVD涂层技术的结合 英国设非尔德哈勒姆大学 W0If．DieterM0nz 1 前景和关键领域 对降低(图ld)。这种对形状稳定的重要性可以通过 热化学预处理和物理气相沉积已经成为现代先 薄刀片边部的断裂截面来解释(图2)，由于涂层的厚 进制造技术的一部分。热化学预处理本身就是由于 度仅有0．3ttrn，可以想象如果刀片基材使用较软的 汽车工业的大规模发展而产生的。经过几十年发展 不锈钢来制造，它所能承受的力将非常有限。在这 的物理气相沉积仍被限制在 “高新技术”，仅应用在 种情况下，对基体进行几个微米厚度的渗氮硬化预 半导体工业和光学涂层。由于真空技术的快速发展 处理，将大大提高刀刃的硬度。 和对等离子辅助过程的认识13益成熟，物理气相沉 积技术，特别是硬质低摩擦系数涂层在机械工程方 面得到了越来越多的应用。今天，一定范围的切削 工具完全依赖于特殊的PVD涂层，先进的发动机系 统也需要在表面涂覆一层具有低摩擦系数的含钨的 碳涂层。如今，到了该考虑如果将两种处理技术结 合，将会产生什么机会的时机了。 1．1 与磨损有关的失效机制 PVD涂层的典型硬度值在 1500～5000HK，厚 度约为3～5ttrn。基于这些事实，软的基体材料并不 能使涂层优异的性能得以体现。在相同的涂层、负 图2 涂覆剃刀刀片的断裂截面 载条件下，采用软的基体材料，使材料发生塑性变形 1．2 硬质PVD涂层 或断裂失效的临界负荷力亦低于采用硬的基体材 最先成功的硬质PVD涂层是金黄色的TiN，其 料。图1为材料受力失效的示意图，裂纹最初产生 典型硬度值为2500HK。它最初是在8O年代应用 在近表面的基体区域(图la)，随着力的进一步增加， 于高速钢(HSS)麻花钻头(GI)HRING)，提高钻头寿 裂纹扩展进入涂层(图lb)，裂纹在涂层中的扩展最 命；此外，它还作为耐磨装饰涂层用在手表和手镯 终导致涂层破裂(图lc)。采用热化学预处理将使基 (删 Ex，C1TIZEN，sEⅡ(())。与此同时，TiN涂层无论 体材料表面产生大约 100ttrn或更厚的区域，与未处 是作为功能涂层还是装饰涂层都获得了广泛的应 理过的软基体材料相比，在相同的负载下，这些区域 用。今天，针对解决材料力学性能、腐蚀、磨损问题， 发生塑性流变的难度增加，产生裂纹的倾 向性也相 已经发展出包括TiN在内的一系列PVD硬质涂层， TiCN、CrN、TiA1N是第二代的典型代表。下面，我们 口 口 。 口 将简单介绍一下第三代 PVD硬质涂层，它主要应用 于先进制造技术。这种涂层的典型特征为纳米多层 眯 ＼ 555 555 结构，因此也称为 “超晶格结构”，它由多层第二代涂 断裂 霉 层(举例来说如TiN／CrN)构成，每对的厚度为3～4 未渗氮基体 nIn。依照这样来算，厚度为3ttrn的厚涂层将包含几 千层均为1～2nIn厚的单层涂层，它的典型硬度为 (a) (b) (c) d) 3500～5000HK。这种涂层能根据专利 “Hauzer涂