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1997 年第 期
MOS
甘学温 莫邦燹 ( 北京大学微电子学研究所)
[ ] 回顾总结了MOSVLSI 的发展, 展望了未来发展趋势, 说明工 技术的进步以及器件和电
路设计的不断改进对VLSI 发展的重要作用
: MOSVLSI 工 技术 DRAM 单元 CMOS 电路
MOSVLSI ,
, ,
, 1971Intel 4004
80 , , 23K, 1993 Intel
, 15% , pentium , 08m BiCMOS
1994 25% , , 31M199 , Intel
1000 , 1097 , , 035m ,
2000 2000 450 , 200MHz
NEC32 RISC , 04m
, 3 CMOS ,
500MHz,
1 MOSVLSI
2001, 100M,
M OSVLSI 2G
, ASIC ,
VLSI
CMOS ,
80 , MOS 2001 5M / , 2007
3 4 , 20M 1 MOSVLSI
80 ,
DRAM , 1995 2 MOSVLSI
1Gb DRAM , NEC 025m ,
2
93 mm , 11 11
4Mb, VLSI ,
2000 1Gb DRAM , 2007
1 Gb DRAM , 2031 1Tb , ,
(TERA-bit) , 2051 1Pb( PETA 80 G. Heilmeier 10
bit) 01PETA, , 11%,
50 19% 1
, 5 10
7
电子科技导报
1 MOSVLSI
1992 1995 1998 2001 2004 2007
( m) 050 035 025 018 012 010
( / ) 300K 800K 2M 5M 10M 20M
DRAM ( / ) 1 M 4M 25 M 1G 4G 1 G
SRAM( / ) 4M 1 M 4M 25 M 1G 4G
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