改善共焦系统轴向分辨率的位相型光瞳滤波器.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ， ， ， % # !# # N@4,%M@,#O2AP2 !# 3 ／ ／ （）／ #H!/!#%# ($H( I)JI.9KL)ILML)I !!#)86A,.8B,@?, 3 改善共焦系统轴向分辨率的位相型光瞳滤波器 刘 力 邓小强 王桂英 徐至展 （中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 ） !#$ （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ! % # ! ’ !( 利用约束全局优化算法——— 算法，设计了两种用于共焦系统的三区位相型光瞳滤波器 第一种滤波器在 )*+ , 不改变系统的横向分辨率的同时，可以大幅度地提高轴向分辨率，提高了系统的层析能力 第二种滤波器在提高系 , 统轴向分辨率的同时，又能提高其横向分辨率，适用于系统的三维成像, 关键词： 算法，光瞳滤波器，超分辨 )*+ ： ， ， !## (! -’. (!’ ［］ 主要有 # 个特征量 ：）半高半宽（ ）比 ： # 9:9; ! 引 言 有滤波器和没有滤波器时的 之比 ） # 9:9; ,! =584 比 ：有滤波器和没有滤波器时的焦点强度最大值 随着科学技术的发展，对光学成像系统及其分 之比 ） ：旁瓣强度最大值与主瓣强度最大值之 ,# 辨率提出了越来越高的要求 目前高分辨率的成像 比 很明显，要想获得好的超分辨效果， 和 越小 , , ! # 技术研究包括三方面的内容：短波长成像技术，如电 越好，而 则越大越好 然而降低主瓣大小必然会 $ 子显微术和 射线显微术；各种扫描探针类显微术 以 增大、 降低为代价，这使得超分辨元件的应 0