BST铁电薄膜的水基溶胶凝胶工艺.pdfVIP

第37卷 增刊2 稀有金属材料与工程 V01．37，Suppl．2 2008年 5月 RAREMETALMATERIALSANDENGINEERING 2008 May BST铁电薄膜的水基溶胶．凝胶工艺 朱时珍1，向 飞1，朱满康2，刘颖1，徐 强1 (1．北京理工大学材料科学与工程学院，北京100081) (2．北京工业大学材料学院薄膜材料研究室。北京100022) 擅要：采用水基溶胶．凝胶工艺成功地制备了成分均匀的Bao 等手段对溶胶．凝胶和薄膜的结构、形貌进行了表征，分析了水解聚合过程和水解程度对溶胶．凝胶产物的影响，研究了 工艺条件对薄膜质量的影响，讨论了热处理条件对薄膜结晶性能的影响。研究结果表明，采用较高浓度的水基前驱体， h，可以获得较好质量的薄膜；XRD分 有利于薄膜的形成和均匀性。溶胶浓度0．56mol／L，pH值5．5，陈化时间48～72 析表明薄膜650℃处理后已经形成了钙钛矿相的结构。 关键词：BST薄膜：s01．gel；水基前驱体；钙钛矿相 中图法分类号：0484：TN304文献标识码：A 文章编号：1002．185X(2008)$2．102．05 近年来，随着环境保护和人类社会可持续发展的 1 实验 需求，人们的目光更多地投向了无铅系铁电薄膜，用 途广泛的无铅系钛酸锶钡铁电薄膜材料已成为目前研 1．1前驱体溶液的合成 前驱体溶液的配制过程如图1所示。实验中选取 究的热点之一。Bal。SrxTi03(BST)薄膜作为一种优质介 电材料，在动态随机存取存贮器(DRAM)、热释电红 外探测器、薄膜陶瓷电容器、薄膜传感器等上拥有广 泛的应用前景。BST薄膜具有非线性强、漏电流小、 不易疲劳、居里温度可调等特点，而且与PZT体系相 比，BST薄膜的顺电相不出现疲劳现象，因此受到了 极大关注。 拌均匀，获得均匀的前驱体溶液。 BST薄膜的制备方法有Sol—gel法【¨、溅射法【21、 激光烧蚀法【3】等【4】。其中，S01．gel法具有工艺简单、 成本低、组分易控制等优点，已成为薄膜制备的主要 方法之一。由于它的热处理温度低，与半导体集成电 路工艺兼容性好，容易把铁电薄膜与半导体器件集成 在同一芯片上，以提高部件的可靠性并减小体积。但 一般的S01．gel法所选用的液体源一般都是纯有机的， 含有一定的毒性，对环境造成危害，而且在溶胶制备 过程中往往需要回流，实验周期延长。为解决上述问 题，研究者开始尝试配制水基前驱体PZT体系溶液【51。 在BST薄膜领域，中国科学院上海硅酸盐研究所开 展了水基凝胶制备工艺的研究，得到了一些较好的结 图l BST前驱体溶液的配制 ofBST solution 果【6，7】。本文采用水基溶胶一凝胶的方法制备BST铁电 Preparation Fig．1 process precursor 薄膜，研究制备工艺条件对薄膜质量的影响，探索采 用水基溶胶．凝胶工艺制备成分稳定的BST铁电薄膜 1．2 BST薄膜的制备 的实验途径。 制备薄膜的工艺流程如图2所示。BST前驱体溶 收稿日期：2007．11-08 万方数据 增刊2 朱时珍等：BST铁电薄膜的水基溶胶．凝胶工艺