含氟特种气体及电子化学品市场与竞争力分析待续.pdfVIP

·· 年第 卷第 期 化工生产与技术 1 20 10 17 6 Chemical Production and Technology !!!!!! ! ! 氟 化 工 !!!!!! 含氟特种气体及电子化学品市场与竞争力分析（待续） 陈鸿昌 （全国无机氟化物协会，天津 300131 ） 摘要 介绍了属于高端无机氟精细品的部分含氟特种气体及电子化学品氟气、六氟化硫、 六氟化钨和五氟化碘等，这些产品大多用于电子、新材料、航空航天等高新领域，普遍具有 技术含量、产品附加值较高的特点，在国民经济中占有重要地位。叙述了产品性能、生产方 法、用途、 国内外市场现状、生产厂家规模及分布等。 关键词 含氟特种气体；含氟电子化学品；高端；竞争力 中图分类号TQ124.3 文献标识码 C DOI 10.3969/j.issn.1006-6829.2010.06.001 较长时间以来， 人们对我国的氟化工应该朝哪 用来进行选择性氟化。 氟气的溶解性差， 反应一般 个方向走不断地提出问题，也发表了众多的观点，大 在气液两相表面进行；又因反应放热，所以在反应表 多数人认为是要向国外看齐，要加快结构调整、加强 面极易形成热点加速副反应的进行。为减少副反应， 研发、引进人才等等。 实际上尽管差距不小，氟化工 通常用惰性气体（如氮气或氩气）来稀释氟气，以使 还是正在向精细、高端、优质并具有高附加值方向发 氟化反应容易控制且提高氟化选择性。 这种稀释氟 展着。 气商业化以后， 氟气在氟化合成中的应用逐渐得以 含氟特种气体可分为元素氟（氟气）、六氟化硫 推广。 （SF6 ）、六氟化钨（WF6 ）及其他含氟特种气体。我国含 1.1 理化性质 氟特种气体已有十几个品种， 其中产量最大的为 氟气常温下为淡黄色气体， 有强烈的刺激性气 SF6 ，其他已工业化的产品有纯氟气、氟氮混合气、四 味，该气体在冷却到 144 K、压缩到5.5 MPa 条件下 氟化碳（ ）、三氟化氮（ ）等。 电子工业气体主要 即可成为浅黄色 桔红色液体。 氟气是强氧化剂，与 CF4 NF3 - 用于薄膜沉积，如化学气相沉积（CVD ）或物理气相 金属单质、盐类、氧化物的反应大多比较激烈，其中 沉积（PVD ），这些技术主要用来制造半导体或光伏 碱金属、 碱土金属一旦碰着氟气就会自燃。 氟气几 电池。 乎可以和所有的有机物反应， 生成氟碳化合物和氟 电子化学品主要包括集成电路和分立器件用化 化氢，醇、酸、醛和胺与氟气反应也很剧烈，且与有机 学品、印制电路板配套用化学品、表面组装用化学品 物作用时通常伴有着火燃烧或猛烈爆炸。 由于氟气 和显示器件用化学品等。 集成电路用电子化学品包 进行反应时放出大量的热， 有机物分子结构遭到破 括 类关键产品，最重要的一部分是超净高纯试剂。 坏，为使反应缓和，一般用大量惰性气体（如氮气）加 4 超净高纯试剂主要是氢氟酸 （HF ）、 氟氢化钾 以