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低频振动传感器幅值和相移测量的不确定度 于 梅 （中国计量科学研究院，北京100013） 摘 要：深入研究影响测量结果的不确定度来源和大小，参考ISO 16063-11:1999不确定度分量 表，根据实验结果和经验数据，对低频振动国家副基准测量高精度低频振动传感器套组灵敏度幅值和相 移进行测量不确定度的分析和评估，为修订国家振动传递系表提供了参考依据，其灵敏度幅值和相移测 量的不确定度（ k =2）为16Hz 参考点，0.30%和 0.19°；0.1Hz∼120Hz通频带，0.66%和 0.65°。 关键词：计量学；绝对法振动校准；正弦逼近法；灵敏度幅值和相移，振动套组，测量不确定度 中图分类号：TB936 文献标识码：A 低频振动传感器和测量仪应用广泛，涉及相关前沿科学研究和工程应用的各个领 域，其量值通过国家振动低频(副)基准溯源到基本量长度和时间。振动传感器和测量 仪灵敏度幅值和相移测量不确定度的正确评估对保证我国振动量值在国际上的等效性 和国内传递的准确性起着至关重要的作用，因为测量结果除了给出被测量的最佳估计 值外，还应同时给出测量结果的不确定度才完整和有意义。振动测量属于动态测量范 畴，边界条件复杂，影响因素众多，不确定度分析比较困难，迄今为止在国内未形成 共识。考虑到与国际评价方法的差异必然会对我国在参加振动国际关键比对、提供我 国最高校准能力等国际交流中造成障碍，所以按照国际标准评价准则对国家基准进行 [1] 测量不确定度分析、评估和研究意义重大 。 本文参考 ISO 16063-11：1999“振动与冲击传感器校准方法 第 11 部分 激光干 涉法振动绝对校准”推荐的正弦逼近法灵敏度幅值和相移测量的不确定度评估方法， 通过实验和研究，分别在给定参考条件下和通频带范围内，对高精度低频振动传感器 套组（以下简称为振动套组）的灵敏度幅值和相移测量的不确定度进行了分析和评 估，为国家振动检定传递系统的修订提供了可靠的技术依据。 基金项目：国家质量监督检验检疫总局基金项目 收稿日期：2008年- 修改稿收到日期： 第一作者：于梅 女，本科，研究员，1956年11月生 2 系统组成和传感器复灵敏度 国家低频垂直向振动副基准主要由振动激励系统（包括振动台、功率放大器和函 数发生器）、零差正交Michelson激光干涉仪、数据采集处理系统组成。图1为测量 系统的原理框图。 图 1. 加速度计幅相特性校准原理框图 表 1. 国家低频垂直向振动副基准主要技术指标 频率范围 0.1Hz∼120Hz 振动位移（0－p） 10μm∼20mm 最大加速度 30m/s² 加速度波形失真度 2%(120Hz∼2Hz)；5%(1Hz∼0.4Hz)；10%(0.2Hz∼0.1Hz) 横向振动比 5%(2Hz∼100Hz） 参考频率点 16Hz(8Hz） 被校仪器为低频振动加速度计套组（以下简称为振动套组），它由JD-6D石英挠 性加速度计和适配器SYNX-II组成。其主要技术指标为：加速度100 m/s²，偏值 5mg，温度系数 100μg/℃,16Hz(10 m/s²)参考点处灵敏度幅值128.9mV/(m/s²)，相 移为-0.32°。 振动套组校准的主要指标是加速度计的复灵敏度，它用频率的复值函数表示： ˆ exp ( ) S S j ϕ