采取压痕实验获得材料性能的研究现状ξ.pdfVIP

第 17 卷　第 2 期 实　验　力　学 V o l. 17　N o. 2 2002 年 6 月 JOU RNAL O F EXPER IM EN TAL M ECHAN ICS Jun. 2002 　 文章编号:(2002) 采用压痕实验获得材料性能的研究现状 万建松, 岳珠峰 ( 西北工业大学 工程力学系, 西安 710072) 摘要: 本文综述了采用压痕实验获得膜基体系中薄膜弹性、塑性、蠕变性能的研究 进展, 并指出了目前研究中存在和需要解决的问题. 关键词: 压痕实验; 纳米压入仪; 弹性性能; 塑性性能; 蠕变性能 中图分类号: O 347. 1　　　文献标识码: A 1　引言 [ 1 ] 　　由相同材料构成的薄膜与块体二者的力学性能有着显著的区别 . 随着膜- 基体系在微 电子设备、磁记录、光学等领域中的广泛应用, 人们对薄膜的力学性能产生了越来越浓厚的兴 [ 2 ] 趣 , 同时对其的力学性能也提出了更高的要求. 例如微电子设备不仅要承受在封装等生产过 程中产生的应力, 而且还要承受在其工作中因为基体与薄膜之间热膨胀不匹配而产生的应力. 因此, 研究薄膜的力学性能就显的尤为重要. 要研究膜- 基体系中薄膜的力学性能, 首先必须测定其应力- 应变或者应变- 时间之间 的关系. R eed [ 3 ] 曾尝试将薄膜从基体上分离下来进行拉伸, 测得薄膜的屈服强度及应力- 应变 关系, 但实验困难以及通常情况下得不到理想的拉伸曲线, 使该法的应用受到限制. Shu t[ 4 ] 和 Bader [ 5 ] 等根据膜基热膨胀系数的差异, 分别通过降低和升高温度及利用X 射线衍射法与基体 弯曲法测定附着薄膜的屈服强度. 由于温度降低的范围有限及高温下薄膜材料将发生回火, 再 结晶等组织的改变, 因此利用热应力的方法较难获得室温下薄膜的机械强度. 而且粘附在基体 ( ) 上的薄膜与已从基体上分离的薄膜 以自由的状态存在 二者性能是不同的. 无论采用何种方 法测定薄膜的机械性能, 薄膜厚度都是必要的参数, 如何测定薄膜的厚度可见文献[6 ]. ( ) 近年来发展起来的纳米压入仪 又称显微力学探针 为研究薄膜的力学性能提供了有力的 工具, 纳米压入仪可连续测定载荷- 位移曲线, 进而评定材料的硬度, 弹性模量, 屈服强度, 塑 收稿日期: 修订日期: ( ) 基金项目: 本文研究得到国家自然科学基金 的资助 ( ) 作者简介: 万建松 1975- , 西安西北工业大学工程力学系博士生, 研究方向为先进材料的力学行为及材料的损伤破 化机理. © 1995-2004 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved.