采取模压技术的聚合物矩形光栅制作.pdfVIP

第 卷 第 期 华侨大学学报 自然科学版 28 2 Vol.28 No.2 年 月 2007 4 Journal of ~ua iao universit Natural science A r.2007 C y p 文章编号! # 1000-5013 2007 02-0151-04 采用模压技术的聚合物矩形光栅制作 于百英!庄其仁!阮思旭 华侨大学信息科学与工程学院 福建泉州 362021 摘要! 在适当的压力条件下 通过控制压制的温度 制作出性能优良的 聚合物矩形光栅 PC Pol carbonate y 光栅压制模板为采用感应耦合等离子体 技术刻蚀的熔融石英矩形光栅模板 对聚合物光栅的衍射观察 ICP . 和测量 证明用模压技术制作的 PC聚合物矩形光栅具有很好的衍射效率和表面质量. 关键词! 模压技术 聚合物 光栅 莫尔条纹 中图分类号! T~ 741.6 文献标识码! A 矩形光栅是一种典型的位相光栅 其应用十分广泛 如光谱学 分布反馈激光器 分布Bragg反射激 光器 光波导耦合器 波长多路调节器和解调器件 与 和 信号读出头用光栅 以及 VCD DVD CD-ROM 制作光纤光栅的相位掩模板等都要用到矩形光栅 因而受到了众多学者的重视 目前 制作矩形光栅的. 1-4 5 主要技术是刻蚀技术 它包括反应离子刻蚀法 离子束铣削 电子回旋共振刻蚀法 以及感应耦合 等离子体刻蚀法 6 等 这些方法所用的设备昂贵 操作复杂 成本较高 因此 研究低成本 易实现的矩形. 光栅制作方法是很有意义的 有机聚合物聚碳酸脂 简称 7 是一种理想的光学材料 . Pol carbonatey PC 光学质量很高 聚合物光学器件具有质量轻 耐冲击性能好 成本低 能复制复杂的形状和易于批量生产. 等特点 因此聚合物矩形光栅极具研究价值 制作聚合物矩形光栅最简单可行的方法是采用模压技. 术 8 .模压技术是将模压材料放在模板的下面 在一定的温度和压力作用下成型制品的一种方法 其设 备简单 工艺控制便利 易实现机械化和自动化