200升真空容器的真空估算.docVIP

(200-250)升真空容器的真空估算 一，选用材料简介： 1，本真空容器主要由氟橡胶（FMP，Viton）和不锈钢（1Cr18Ni9Ti）材料制成，他们表面放出的气体成为真空系统在高真空抽气状态下的主要气体负载，因此对这两种材料的放气速率进行了解就显得非常必要。 氟橡胶是一种出气速率较低的聚合材料，特别是在烘烤以后，它适合用于压力低于10-6mbar的真空系统中作密封。它的最佳去气温度为1500C，若再高其去气性能也得不到明显的改善，其化学稳定性高达2000C，分解温度为3150C，邵（Shore）氏硬度为650C。 不锈钢是常用的高真空材料，焊接性能好，在烘烤以后出气速率低。 氟橡胶，不锈钢在常温下的出气速率，单位：Torr·L/S·cm2 牌号 处理 1小时 4小时 10小时 20小时 1Cr18Ni9Ti 机械抛光 2.1x10-9 4.0x10-10 2.5x10-10 1Cr18Ni9Ti 未处理 2.8x10-8 3.0x10-9 1.5x10-9 304(美) 未处理