薄膜反射镜的单电极控制静电成形.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ ８ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．８ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ ８ Ａｕ．２００９ 　 　 　 ｇ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０８１９６４０７ 　 薄膜反射镜的单电极控制静电成形 １ １ ２ ３ １ ４ 安 源 ，金 光 ，齐迎春 ，孙小伟 ，蒋 宁 ，艾晨光 　 　 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 ； １． １３００３３ 吉林大学，长春 吉林 ； 长春理工大学，吉林 长春 ； ２． １３００２２３． １３００２８ ４．北京邮电大学，北京 １００８７６） 摘要：考虑薄膜反射镜具有质量轻、柔韧性好、可折叠等优点，研究了由静电拉伸法制备薄膜反射镜的新技术。介绍了薄 膜反射镜的静电成形机理，计算了单电极模式下薄膜所受力场，设计了单电极式薄膜反射镜的控制实验。给出了控制成 型所需的主要参数，设计了薄膜反射镜的夹持结构和控制电路，并利用刀口仪测量了形成的反射面的焦距。实验结果显 示，未通电时薄膜反射镜面形的 值达到 ， 值为 ，在 的高压下可以形成焦距约为 的 ＰＶ １１．１４ ＲＭＳ １．８６ １００００Ｖ ２．１ｍ λ λ 反射镜面。通过 Ｚｅｒｎｉｋｅ拟合验证了数据的可靠性，结果表明，通过改善夹持结构精度和选取性能优良的薄膜材料，反射 镜面形精度可进一步提高。 关 键 词：薄膜反射镜；单电极控制；静电拉伸 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＨ７０４ Ａ 　　 犆狅狀狋狉狅犾狅犳犿犲犿犫狉犪狀犲犿犻狉狉狅狉狊犺犪犲犫 狊犻狀犾犲犲犾犲犮狋狉狅犱犲 狆 狔 犵 １ １ ２ ， ， ， ＡＮＹｕａｎ ＪＩＮＧｕａｎ ＱＩＹｉｎｃｈｕｎ ｇ ｇ ３ １