槽脆塑性域切削的3犇激光检测及评价.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ １１ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．１１ 　 　 　　 　　　　 　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ １１ Ｎｏｖ．２００９ 　 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９１１２７７１０８ 　 微纳 槽脆／塑性域切削的 激光检测及评价 犞 ３犇 １ １ ２ 谢 晋 ，韦 凤 ，田牧纯一 　 　 （ 华南理工大学 机械与汽车工程学院，广东 广州 ； １． ５１０６４０ ２．北见工业大学 微纳加工学研究室，日本 北见 ０９０８５０７） 摘要：针对微纳米级功能 槽微细加工及评价困难的问题，采用单点金刚石切削方法在超精密机床上对光学玻璃进行 Ｖ 了 槽的微纳尺度加工，且利用非接触激光检测技术展现了 槽的加工形貌。依靠单晶金刚石的锋锐刃角在光学玻璃 Ｖ Ｖ 上进行 槽的微纳尺度切削试验，利用 激光超精密检测仪器检测加工的 切痕，构建了微 槽切痕的形貌图，并建 Ｖ ３Ｄ Ｖ Ｖ 立了 槽形状误差 值和 槽尖角圆弧半径的评价模式。最后，分析了微纳尺度加工中切除深度与 槽角度的形成 Ｖ ＰＶ Ｖ Ｖ 机理以及切削深度对 槽形状误差及其尖角圆弧半径的作用机制。结果表明，在亚微米级尺度加工中存在一个脆／塑 Ｖ 性域切除加工状态转变的临界切削深度０．３８６ ｍ。在切削深度＜０．３８６ ｍ的塑性域切削中，金刚石刀具尖角形状可以 μ μ 复制到工件表面，形成深度 、形状误差 值约为 的 槽。此外，由于 槽尖角圆弧半径在塑性 ＜０．３８６ ｍ ＰＶ ０．１０３ ｍ Ｖ Ｖ μ μ 域切削中随着切削深度减小而减小，所以切削深度需控制在 槽临界成型深度 以下，才能形成尖角半径为 Ｖ ０．３６５ ｍ ０． μ 的完整 槽。实验也表明，利用非接触激光检测的 数据建立 槽形状误差