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一种环境可控的 M EM S 微结构离面动态变形测试系统 ———谢勇君 史铁林 刘世元等 67
一种环境可控的 M EM S 微结构
离面动态变形测试系统
1 ,2 ,3 1 ,3 1 3
谢勇君 史铁林 刘世元 吴健康
1. 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室 ,武汉 ,430074
( )
2 . 暨南大学 ,珠海 ,5 19070 3 . 武汉光电国家实验室 筹 ,武汉 ,430074
( )
摘要 :利用 Linnik 显微干涉技术和环境控制技术 ,研制了一套环境可控的微机电系统 M EM S 微
结构离面动态变形测试系统 ,该系统可测量不同温度 、不同压力下 M EM S 微结构的离面动态变形情况 。
测试系统的环境控制装置可提供0～300 ℃的温度变化和0 . 1～06M Pa 的压力变化 。利用测试系统对
不同压力下绝压型硅微压力传感器膜的动态变形以及不同温度下微电路板的变形形貌进行了测量 ,其
中绝压型硅微压力传感器膜变形量的测量重复性误差小于20nm 。
关键词 :M EM S 微结构 ;动态变形 ;环境控制 ;显微干涉
( )
中图分类号 : T H74 1. 8 文章编号 :1004 —132X 20 10 0 1 —0067 —04
Measurement System f or MEMS Microstructures Outofplane Dynamic
Def ormation with Environmental Control Facil ity
Xie Yon gj un1 ,2 ,3 Shi Tielin1 ,3 Liu Shiyuan1 Wu J iankang3
1. St at e Key L aboratory of Digit al Manuf act uring Equip ment and Technolo gy ,
Huazho ng U niver sit y of Science an d Technolo gy ,Wuhan ,430074
2 .J inan U niver sit y ,Zhuhai , Guangdon g ,5 19070
3 . Wuhan N ational L aboratory for Op to - elect ro nic s ,Wuhan ,430074
Abstract :A mea surement sy st em for M EM S micro st ruct ure s dynamic defor mation wit h environ
ment al co nt rol f acilit y wa s p re sent ed . The sy st em int egrat ed Linnik micro scop ic int erf ero met ry an d
env
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