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使用Agilent Cary 7000 全能型分光光度计 (UMS) 研究绝对镜面反射的角度关系 应用简报 材料 作者 Travis Burt 和 Chris Colley 安捷伦科技公司 澳大利亚维多利亚州马尔格雷夫 前言 表征光学样品的一个常见方法是以单一入射角度 (AOI) 测量其反射或透射特性。 但是，如果以多 测量反射和 或透射能得到更完整的样品表征，可以更深入 AOI / 地了解样品的光学性质。 本应用简报介绍了Cary 7000 全能型分光光度计 (UMS) 如何快速、自动地测量 多AOI 的绝对镜面反射，也展示了三维 (3-D) 图和二维 (2-D) 等高线图进行数据 可视化的价值。 实验部分 如果薄膜沉积过程中薄膜厚度不均匀，那么反射率和透射率 测量会受到影响。 样品 样品是一个直径为 200 mm ，厚度为 0.80 mm 的大硅片。 随着 Agilent Cary 7000 UMS 的诞生，现在无需移动样品 抛光后的前表面涂有专利光学涂层。表 列出了样品和采集 便可在样品的同一个位置测量透射率和反射率，有效解决了 1 条件。 偏差来源。 仪器 测量 使用 采集数据，它是一款高度自动化系 测量 为 到 的镜面反射，增量为 。通过自动转 Cary 7000 UMS AOI 6° 86° 1° 统，可在可变角度测试样品的绝对镜面反射和透射。有了 动的线栅偏振器控制照射到样品的入射光偏振。测量了 偏 s Cary 7000 UMS ，操作者可独立、电动控制照射样品的入射 振和 p 偏振光的反射。 角和检测器的位置，检测器可围绕样品的弧形轨迹自由旋转。 独立控制样品旋转角度和检测器位置，可实现快速、准确和 使用 Cary WinUV 软件方法编辑器设置采集条件。采集全 部数据序列之前，只需测量两条基线，一条用于s 偏振，另 无人值守的测量。 一条用于 p 偏振。这两条基线用于所有角度的测试，软件 过去，反射率和透射率的测量需要使用安装不同附件的分光 可在单一采集图谱中采用合适的基线。相比之下，其它系 光度计。但是，由于不同测量模式 （附件）下照射光束的 统要采集每个角度的每个偏振基线，显著增加了采集的总时 几何形状会发生变化，以及照射到样品的光束会发生移动， 间。两条基线采集完毕后，该系统可完成整个数据的自动 这就导致每次测试的样品区域会有差别。 采集。 正如前面提到的，大硅片的