原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
材料物理与化学硕士论文 脉冲激光沉积制备zno薄膜的研究 援要上挚
目 录
摘 要……………………………………………………………………………………………………………………～l
第一章引言………………………………………………………………………………………．5
1．1课题背景…………………………………………………………………………………．5
1．2ZnO的结构和基本属性…………………………………………………………………．5
1．3本征ZnO中的缺陷………………………………………………………………………．7
1．3．1本征ZnO中的点缺陷以及其能级………………………………………………．．7
1．3．2自补偿效应………………………………………………………………………．9
1．3．3本征ZnO中自补偿效应的主要缺陷……………………………………………～9
1．4p型ZnO薄膜研究现状…………………………………………………………………．10
l
1．4．1衬J芪………………………………………………………………………………………………………．．1
1．4．2．掺杂元素…………………………………………………………………………1l
第二章ZnO薄膜的制备和表征方法……………………………………………………………15
5
2．1常用ZnO薄膜的制备方法………………………………………………………………1
5
2．1．1脉冲激光沉积(PLD)……………………………………………………………．1
2．1．2 8
ZnO的其它制备方法简介………………………………………………………1
IonImmersion
2．2等离子体浸没注入技术(Plasma
2．2．1Pill方法简介……………………………………………………………………．．23
2．2．2
PIll实验装置介绍………………………………………………………………．．24
Thermal
2．3快速热退火(RapidAnnealing)‘61l……………………………………………30
l
2．4表征方法…………………………………………………………………………………3
l
2．4．1扫描电子显微镜【62】……………………………………………………………3
2．4．2原子力显微术【631………………………………………………………………．．32
2．4．3
X射线衍射技术【641………………………………………………………………33
文档评论（0）