溅射参数对单层AZO和多层AZOCuAZO薄膜性能的影响研究毕业论文(终稿).doc

吉首大学 ? 硕 士 学 位 论 文 溅射参数对单层AZO和多层AZO/Cu/AZO薄膜性能的影响研究 ?? ? 陈林喜 ?? 二0一二 年 五 月 分类号 密 级 公 开 U D C 单位代码 ? 吉首大学? 硕 士 学 位 论 文?? 溅射参数对单层AZO和多层AZO/Cu/AZO薄膜性能的影响研究 Property Research AZO and AZO/Cu/AZO Thin Films Prepared by Radio-frequency Magnetron Sputtering 研究生姓名 陈林喜 指 导 教 师 唐世洪 教授 学 科 专 业 凝聚态物理专业 研 究 方 向 薄膜器件研究 提交论文日期 2012年4月10日 论文答辩日期2012年 月 日 答辩委员会主席 论文评阅人 二0一二年五月 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得吉首大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。 研究生签名： 时间： 年 月 日 关于论文使用授权的说明 本人完全了解吉首大学有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保留送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。同意吉首大学可以用不同方式在不同媒体上发表、传播学位论文的全部或部分内容。 (保密的学位论文在解密后应遵守此协议) 研究生签名： 时间： 年 月 日 导师签名： 时间： 年 月 日 目 录 摘 要 6 Abstract 7 第一章 绪 论 1 1.1引言 1 1.2 氧化锌的基本性质 1 1.2.1 ZnO的晶体结构 2 1.2.2 ZnO的电学性质和光学特性 3 1.2.3 ZnO的能带结构 3 1.3 ZnO的应用 3 1.3.1透明导电薄膜 3 1.3.2发光器件 3 1.3.3紫外探测管 3 1.4 AZO/Cu/AZO多层透明导电薄膜的研究 4 1.4.1 TCO薄膜的种类 4 1.4.2 AZO/Cu/AZO多层透明导电薄膜的用途 4 1.5 本文主要研究目的和内容 4 第二章 透明导电薄膜的制备和表征手段 5 2.1 主要制备技术 5 2.1.1 磁控溅射技术 5 2.1.2 真空蒸发技术 7 2.1.3 PLD技术 8 2.1.4 溶胶凝胶技术 8 2.2 主要表征方法 9 2.2.1 表面轮廓仪 9 2.2.2 分光光度计 9 2.2.3 X射线衍射仪 10 2.2.4 四探针方阻仪 10 2.2.5 霍尔测试仪 11 第三章 单层AZO薄膜测试结果与讨论 12 3.1 引言 12 3.2 实验参数 12 3.3 实验参数对单层AZO薄膜性能的影响 13 3.3.1衬底温度对单层AZO薄膜薄膜性能的影响 13 3.3.2 偏压对AZO薄膜性能的影响 16 3.3.3后续退火对单层AZO薄膜性能的影响 19 3.2本章小结 19 第四章 AZO/Cu/AZO多层透明导电薄膜测试结果与讨论 21 4.1 引言 21 4.2 实验参数 21 4.3 溅射功率对AZO/Cu/AZO多层透明导电薄膜光电性能的影响 22 4.3.1 溅射功率对AZO/Cu/AZO多层薄膜的光学性能分析 22 4.3.2 溅射功率对AZO/Cu/AZO多层薄膜的结晶性能的影响 23 4.3.3 溅射功率对AZO/Cu/AZO多层薄膜的表面形貌影响 25 4.3.4 溅射功率对AZO/Cu/AZO多层薄膜的电学性能的影响 25 4.4 溅射压强对AZO/Cu/AZO多层薄膜光电性能的影响 27 4.4.1 溅射压强对AZO/Cu/AZO多层薄膜光学性能的影响 27 4.4.2 溅射压强对AZO/Cu/AZO多层薄膜结晶质量的影响 28 4.4.3 溅射压强对AZO/Cu/AZO多层薄膜电学性能的影响 30 4.5 本章小结 31 第五