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LCD十字標線定位檢測
摘要
本文介紹液晶顯示器(LCD)的製程中相關之檢測工作,並針對液晶顯示器基板之定位微影裝置詳加說明,在液晶顯示器基板組裝過程裡,如何使基板公十字標線精確的與母十字標線對準是相當重要的步驟。在文中描述如何使用微影技術之機器視覺識別系統,利用CCD影像檢測器抓取LCD板公、母十字標線之影像後,以影像處理設備與個人電腦所構成的檢測系統予以分析,再透過三軸位移控制及輸送帶與真空吸附裝置,讓上下兩片LCD基板能精準組合。
液晶顯示器及其製程簡介
液晶材料具有流動的特性,因此只需外加很微小的力量,液晶分子即運動而產生不同的排列狀況,如圖1以最常見普遍的向列型液晶為例,藉著電場作用造成液晶分子轉向,由於液晶的光軸與其分子軸相當一致,由此產生光學效果,而如果我們將液晶一開始就適當的安排其排列方向,那麼當加於液晶的電場移除消失時,液晶分子會因為其本身的彈性及黏性,而十分迅速的回復原來未加電場前的狀態。
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(A)未加電場前??????????? ???????????????? (B)加電場後
圖1 ?藉著電場作用造成液晶分子轉向,由此產生光學效果
LCD顯示器技術集合材料、光學、機械及電學等科技,在製程檢測方面,亦可見到各式各樣的作法[1-5]。目前液晶基本上皆是由人工合成,故在液晶分子的特性上可做較為理想的設計,而直接改善LCD顯示的品質。由圖2中可清楚看出LCD的顯示原理以及其基本架構。
??? 電極OFF狀態
?? 電極ON狀態
圖2? LCD的顯示原理以及其基本架構
近幾年由於電子產業與半導體科技的發展,液晶顯示器應用了液晶原理與半導體製程,在品質及價位方面都有長足的進步,在色彩呈現方面直逼CRT映像管,因此在近年來出現供不應求的跡象,1995年時還有供過於求的現象,到了1996年由於筆記型電腦與個人數位助理(PDA)需求量大增,因此開始廣為流行,從1997年以後許多液晶顯示器製造商訂單應接不瑕的情況看來,液晶顯示器已成為近年的顯示器主流。
LCD製造流程是以TN及STN製程為基礎,其全線為自動化生產流程,此生產線有一中央控制室可監控生產流程[6],如圖3所示。概述如下:
圖3 LCD製造流程
1.裝片、清洗、塗佈光阻劑、曝光
製造液晶顯示器的主要原料為液晶、導電玻璃和偏光片。導電玻璃是在高品質的平板玻璃表面真空蒸鍍上一層ITO膜而成,亦即玻璃基板上面有具導電性的金屬氧化物薄膜。當整片含有ITO膜的玻璃基板進入生產線後,首先先清洗玻璃板,然後在將光阻劑塗佈在玻璃基板上,再利用客戶訂好的所需要的圖形,如下圖4的方式,將已塗佈光阻劑的玻璃基板加以曝光。
圖4 顯影.蝕刻.清洗
在曝光之後對已曝光之基板做顯影的工作,顯影過程中不需要的光阻膜將被去掉,而蝕刻時,所需要的圖形會被光阻膜保護不受到蝕刻,而藉此去除不需要的ITO膜。ITO膜蝕刻之後,將會作抽樣的顯微鏡檢查,以確定其蝕刻圖案之正確性。
2.塗佈配向膜
再次清洗基板後,即進行塗佈配向膜,配向膜塗佈時其配向方式是以棉刷依一定方向刷過,如圖5,配向膜可將液晶未加電場前分子做定位的工作,一般前後兩片LCD基板上的配向膜需互成九十度,藉此將液晶分子依序旋轉,如圖6 (A)(B),另外也有以蒸鍍的方式配向,不過成本較高。
?????????????????????? 圖5 .配向膜塗佈
圖6(A) .配向膜塗佈時前後基板配向膜差九十度
圖6(B)貼近基板之液晶分子順著配向槽排列
3.固膜、清洗、印框
配向膜固化後再次清洗基板,接著將對基板做印框,印膠框的目的是為了之後兩片基板將重疊貼合,而其內可注入液晶,如圖7(A)(B)為自動上膠框的情形。
??????????????????????????????? 圖7(A) 上膠框的情形之一
??????????????????????????????? 圖7(B) 上膠框的情形之二
圖8(A)為打上膠框後的形式,其中樹脂膠框範圍為LCD基板上每個液晶顯示器板最後裁割的單位,而基板四角公、母十字標線旁有墨點,是為了兩片LCD基板貼合時當作定位的標準(圖8(B))。
圖8(A)打上膠框後的形式
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圖8(B)墨點是為了兩片LCD基板貼合時當作定位的標準
4. 微細墊片(SPACERS)塗佈
圖9? SPACERS自動噴撒裝置
??? 圖9為微細墊片自動噴撒裝置示意圖,而微細墊片的用意則是為了使兩片LCD基板組合後中間有足夠的空間灌入液晶。SPACERS在噴撒之後需作人工檢測,每一種不同型號之LCD基板都有一種特定的規格,而SPACERS在每1mm平方中需要60-180顆SPACERS,但人工檢測過於耗時以及效率過低,故目前可利用數位影像處理幫助人眼做自動檢測[5],圖10為其自動檢測
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